关于钛溅射靶材你需要知道的一切

金属钛和钛溅射靶在本质上是一样的，都是由钛元素组成的；不同的是，金属钛更像是一种原材料，而钛靶材更像是一种钛制品。以钛为原料，可通过多种方法制成钛溅射靶材，主要用于各种镀膜，如平板显示、玻璃及装饰镀膜、太阳能镀膜等。要了解钛靶，首先要了解钛。

钛的发现，离不开以下三个人：

· 英国的业余矿物学家威廉·格雷戈尔牧师是第一个发现含钛矿物的人。
· 湾 马丁·海因里希·克拉普罗特（Martin Heinrich Klaproth）使用希腊语“泰坦尼克号”（Titanic）将元素命名为“钛”。
· 美国化学家马修·A·亨特(Matthew A. Hunter)用钛还原TiCl，生产出纯度为99.9%的金属钛。这是人类第一次获得纯钛。

钛属性

钛溅射靶材与其源材料具有相同的特性。钛元素在地壳中分布广泛（约0.4%）。世界钛储量约34亿吨，在所有元素中排名第9位。钛是一种具有很高商业价值的材料，因其强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等特点，被广泛应用于航空航天、汽车制造、医疗卫生等日常生活领域。钛的耐蚀性主要表现在钛在常温下不与空气发生反应。但在实际生产环境中，钛仍会发生不同种类的腐蚀.

钛溅射靶材定义

“钛溅射靶材”中的“靶”一词来源于我们日常生活中常见的射击靶。在溅射沉积过程中，镀层材料受到电子束或离子束的轰击，就像靶材被击中一样，因此溅射工艺中使用的材料被称为“溅射靶材”。

从金属钛到钛溅射靶

钛溅射靶材是一种由金属钛制成的钛制品，用于溅射镀膜以生产钛薄膜。简单地说，用金属钛制作钛溅射靶材有两种方法。1.铸造将一定分配比的原料熔化，将合金溶液倒入模具中形成铸锭，后加工成为溅射靶。该方法在真空中熔炼和铸造；2.粉末冶金：将一定分配比的原料熔化，铸成锭然后粉碎，等静压粉末，然后高温烧结，终形成靶材。

钛溅射靶材的基本要求

一般来说，在衡量溅射靶材是否满足一级要求时，会考虑以下指标：
纯度：纯度对溅射镀膜的薄膜性能影响很大。以钛靶为例，纯度越高，溅射薄膜的耐腐蚀性和电学性能越好。
杂质含量：靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水蒸气是沉积膜的主要污染源。不同用途的靶材对其杂质含量有不同的要求。
密度：靶材的密度不仅会影响溅射速率，还会影响薄膜的电学和光学性能。因此，为了减少靶材固体中的孔隙，改善溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有更高的密度。
晶粒尺寸和晶粒尺寸分布（详细分析）：对于相同的靶材，细晶靶材的溅射速度比粗晶靶材快；晶粒尺寸差异较小(分布均匀)的靶溅射沉积膜的厚度更均匀。
以上指标作为溅射靶材的基本要求。不同应用对钛靶材的具体要求，请参考我们之前的文章钛靶材的应用和要求。

希望这篇文章可以帮助您更多地了解钛溅射靶材。我们是溅射靶材制造商，如果您对靶材有任何疑问，可以进入我们的产品页面了解更多信息，或直接向我们发送询问。

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