镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材，熔点1400-1650°C；密度18.63克/厘米3；电阻率 29.8 µΩ·cm（20°C）。
镍铂合金靶材 制备方法
用镍和铂作为原料。原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭；采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭；对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行热轧，冷轧和再结晶退火处理，形成镍铂合金靶坯；对镍铂合金靶坯进行机械加工，形成镍铂合金靶材。通过高温熔炼，真空电子束熔炼，径向热锻和退火处理，纵向墩粗和退火处理，热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤，获得了成分均匀，纯度高，晶粒细小，氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀，颗粒少的高质量的薄膜.
镍铂合金靶材应用领域
镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射，镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜，实现半导体接触及互连。
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