铝镍合金靶材是一种由铝(Al)和镍(Ni)元素组成的合金靶材,具有优异的耐腐蚀性、耐磨性和高温性能。主要用于物理气相沉积(PVD)等工艺,通过溅射的方式在基底材料上沉积形成铝镍合金薄膜。
铝镁合金靶材参数
纯度:3N
尺寸:D50.8x6.3mm 按规格定制
铝镍合金靶材性能特点
机械性能:具有较高的强度和硬度,能增强薄膜的耐磨性和抗变形能力,使其在应用中不易受到外力破坏。
耐腐蚀性:铝和镍的组合赋予了合金良好的耐腐蚀性能,可抵御多种化学物质的侵蚀,提高薄膜的使用寿命。
抗氧化性:在高温环境下,铝镍合金表面能形成一层致密的氧化膜,阻止进一步的氧化,确保薄膜在恶劣环境下的稳定性。
导电性与导热性:铝和镍都是良好的导电和导热材料,因此铝镍合金靶材制备的薄膜具有较好的导电、导热性能,可满足电子器件等领域的相关需求。
铝镍合金靶材制备工艺
制备方法粉末冶金法:将镍粉和铝粉按一定比例混合均匀,经过压实、热压烧结等工艺制成靶材。
真空熔炼法:将高纯铝及镍按规定配比,经高真空熔炼得到镍铝锭坯,再进行机加工。
铝镍合金靶材主要应用领域
半导体与电子器件:用于制备导电层、电极或阻挡层,尤其在集成电路和显示面板中。
光学镀膜:通过溅射形成高反射或抗反射涂层,用于镜片、太阳能电池等。
耐磨防腐涂层:在工具、汽车零部件表面形成耐腐蚀、高硬度的保护膜。