长沙鑫康新材料有限公司 金属靶材 铝(Al)靶材
铝(Al)靶材
铝(Al)靶材
产品类别
高纯金属靶材
产品名称
铝(Al)靶材
元素符号
Al
纯度
3N5, 4N, 4N6, 5N, 6N
形状
平面靶, 旋转靶
铝(Al)靶材概述

铝靶材


     铝靶材,铝是银白色轻金属。有延展性。商品常制成棒状、片状、箔状、粉状、带状和丝状。在潮湿空气中能形成一层防止金属腐蚀的氧化膜。铝粉在空气中加热能猛烈燃烧,并发出眩目的白色火焰。易溶于稀硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钠和氢氧化钾溶液,难溶于水。相对密度2.70。熔点660℃。沸点2327℃。铝元素在地壳中的含量仅次于氧和硅,居第三位,是地壳中含量最丰富的金属元素。航空、建筑、汽车三大重要工业的发展,要求材料特性具有铝及其合金的独特性质,这就大大有利于这种新金属铝的生产和应用。3N8-4N8铝多用于轧制电解电容器铝箔、照明灯具和数据存储等。5N-6N超纯铝多用于制造半导体器件、制造光电子存储媒体、超导电缆稳定化材料以及航天飞机科学研究中发挥重要作用。下图是铝溅射靶材的显微金相检测图片,平均粒径<300μm。


铝靶材.png 高纯铝靶材.png

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铝靶材制备工艺流程

备料 - 区域熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装


铝靶材及其制备方法

铝是从铝土矿中提取Al2O3,再在熔融冰晶石中电解而得到的,纯度一般在99%以上,但这样纯度的铝根本无法作为生产铝靶材的原材料,铝靶材对铝材的第一个要求也是最重要的要求就是纯度要高,铝靶材所用的高纯铝是再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法生产而成的,价格要比工业纯铝99.7贵很多,国内最高纯度在99.9999%(6N)左右。有了高纯度铝锭作为原材料,对原材料进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。对变形处理后的高纯度铝材料进行机械加工,铝靶材加工要求精度高、表面质量高,加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了,铝靶材与镀膜机多以螺纹相连接。


铝靶材的其他合金形式

硅合金AlSi,铜合金AlCu,镁合金AlMg,锌合金AlZn和稀土合金等








钛(Ti)靶材
铬(Cr)靶材