我们生产的钛铝合金溅射靶材具有高纯度,重要的优点是您的薄膜具有出色的导电性,并且在PVD过程中可以大限度地减少颗粒形成。下表是2N8高纯度钛铝 (30/70 原子%)溅射靶的典型分析证明 。
分析方法:1。使用ICP-OES分析金属元素。2.使用LECO分析气体元素。
值得注意的是,我厂还专业生产各种铁基合金溅射靶材,包括 Ti + Cr, Ti + Nb和 Ti + Si + Cu 合金溅射靶材,定制合金成分,尺寸灵活,公差更小,均匀微观结构。