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长沙鑫康新材料有限公司 合金靶材 铝钛(AlTi)合金靶材
铝钛(AlTi)合金靶材
铝钛(AlTi)合金靶材
产品类别
铝合金靶材
产品名称
铝钛(AlTi)合金靶材
元素符号
Al+Ti
纯度
2N8
形状
平面靶
钛铝(Al/Ti)合金靶材概述

      我们生产过程的灵活性允许调整我们的涂层材料的微观结构,以达到您想要的效果。如果溅射靶的晶粒均匀排列,则使用者可受益于恒定的腐蚀速率和均匀的层。下图是我们的钛铝(30/70 at%)溅射靶的两张显微照片,平均晶粒尺寸<100μm。

 

 

 

 

钛铝合金靶材.jpg 钛铝合金溅射靶材.jpg   

 

          我们生产的钛铝合金溅射靶材具有高纯度,重要的优点是您的薄膜具有出色的导电性,并且在PVD过程中可以大限度地减少颗粒形成。下表是2N8高纯度钛铝  (30/70 原子%)溅射靶的典型分析证明  

分析方法:1。使用ICP-OES分析金属元素。2.使用LECO分析气体元素。 


钛铝合金靶材参数.jpg


       值得注意的是,我厂还专业生产各种铁基合金溅射靶材,包括  Ti + Cr Ti + Nb和  Ti + Si + Cu  合金溅射靶材,定制合金成分,尺寸灵活,公差更小,均匀微观结构。

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