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铜靶材一种优良的溅射材料



铜溅射靶材


铜溅射靶材是真空镀膜行业的优良溅射材料。溅射靶材是一组特殊的材料,特别适用于薄膜镀膜, 铜溅射靶材是高纯度铜金属经过一系列工艺后的产物。它具有特定的尺寸和形状。由于高纯铜材料具有许多优异的性能,铜靶在电子、通讯、超导、航空航天等前沿领域得到了广泛的应用


您是否对铜金属如何成为铜溅射靶感到好奇?您想了解铜溅射镀膜靶材的规格和应用吗?

铜溅射靶材生产工艺
如何制作铜溅射靶 – 步骤 1
将金属转化为铜溅射靶的第一步是熔炼。铜冶炼的原料是铜矿石,可分为三类。
· 硫化矿:黄铜矿(CuFeS2)、紫铜矿(Cu5FeS4)和黄铜矿(Cu2S)。
· 氧化矿石:铜矿(Cu2O)。孔雀石,[Cu2(OH)2CO3],金孔雀石 (CuSiO3·2H2O)。
· 天然铜
在不同类型的铜矿石中,含铜量在1%(0.5%~3%)左右的矿石是值得开采的。对于这些矿石,可以通过浮选去除一些脉石等杂质,容易获得铜含量高(8%~35%)的精矿。提取后得到粗铜,通过多次电解和区域熔炼法将铜从99.95%提纯到99.99%、99.999%和99.9999%。


用铜矿石制作铜溅射靶


如何制作铜溅射靶 – 第 2 步
接下来的一系列步骤包括锻造、轧制和热处理原材料中的高纯铜锭。目的是使铜锭中的晶粒更小,密度更高,以满足溅射所需的铜靶要求。


如何制作铜溅射靶——第 3 步
变形处理后,加工出高纯度铜溅射材料,以达到高精度和高表面质量,并适合真空镀膜机的尺寸。

铜溅射靶分类

正如我们上面提到的,铜靶通常分为平面铜靶和旋转铜靶。平面靶为片状,有圆形和方形。旋转靶为管状,利用效率高。经过高纯铜挤压、拉伸、矫直、热处理、机加工等多种工艺,终可得到旋转铜靶产品。


铜溅射靶材应用

铜靶材适用于直流二极溅射、三极溅射、四极溅射、射频(RF)溅射、离子束溅射、磁控溅射等,可用于镀膜反射膜、导电膜薄膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰薄膜、保护薄膜、集成电路、显示器等。与其他靶材相比,如 钛溅射靶材,铜靶材的价格要低得多。因此,在满足膜层要求的前提下,铜靶是首选的溅射材料。

长沙鑫康新材料是一家是集金属及陶瓷化合物镀膜材料研发、生产、销售于一体的溅射靶材制造商。如果您对靶材有任何疑问,可以进入我们的产品页面了解更多信息,或直接向我们发送询问


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