铝钛硅合金靶材是一种由铝（Al）、钛（Ti）和硅（Si）三种元素组成的多组分合金靶材。通过不同的配比，可以得到具有不同性能的合金靶材。广泛应用于半导体、光学镀膜、显示面板及耐磨涂层等领域。
铝钛硅合金靶材参数
纯度：3N
配比：AlTiSi 60/30/10at%
尺寸：D50.8x6.3mm 按规格定制
铝钛硅合金靶材性能特点
高熔点：铝钛硅合金靶材具有较高的熔点，能在高温环境下保持稳定的物理形态，满足一些高温工艺的需求。
良好的导热性：可以有效传导热量，避免在使用过程中因局部过热而损坏靶材或影响镀膜质量。
适中的密度：密度相对适中，既保证了靶材的强度，又便于加工和安装。
化学稳定性好：在常温下不易与空气中的氧气、水分等发生化学反应，具有较好的抗腐蚀性能，能够长时间储存和使用。
抗氧化性强：在高温环境下，表面能形成一层致密的氧化膜，阻止进一步的氧化，提高了靶材的使用寿
高硬度：具有较高的硬度，使其在镀膜过程中能够承受粒子的轰击，不易出现变形、磨损等问题，保证镀膜的均匀性和稳定性。
良好的耐磨性：耐磨性能优异，可用于制备耐磨涂层，提高被涂覆材料的耐磨性能，延长其使用寿命。
铝钛硅合金靶材制备工艺
常见的有粉末冶金法，将铝、钛、硅的粉末按一定比例混合，经过压制、烧结等工艺制成靶材。还有熔炼法，将纯度较高的铝、钛、硅金属原料在高温下熔炼，然后浇铸成型。
铝钛硅合金靶材应用领域
航空航天领域：航空航天对材料的 “轻质 - 高强度 - 耐热” 要求严苛，铝钛硅合金是理想选择之一。
汽车工业：汽车轻量化是降低能耗的核心方向，铝钛硅合金的综合性能适配多个关键部件。
机械制造与工业设备：在通用机械中，需平衡 “耐磨、轻质、易加工”，铝钛硅合金适用于多种运动部件。
电子与 3C 领域：电子设备对 “散热、结构强度、轻量化” 需求突出，铝钛硅合金可胜任关键部件。
厂房地址：湖南省浏阳市高新技术开发区永泰路创新创业园A4-1栋
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