铜钛合金靶材是一种由铜和钛两种金属元素组成的合金靶材,通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统,在适当工艺条件下,可在基板上溅射形成各种功能薄膜。 在镀膜过程中可以产生多种颜色,具体颜色取决于镀膜工艺中的反应气体种类、气体比例以及膜层厚度等因素 。广泛应用于半导体、光学镀膜、装饰涂层、耐磨涂层等领域。
金色 在氮气环境中镀膜,形成氮化物。
玫瑰金 在氮气和甲烷的混合气体中镀膜。
银灰色 在氩气或氮气中镀膜。
蓝色、紫色 在氧气环境中镀膜,形成氧化物。
黑色 在甲烷环境中镀膜。
铜钛合金靶材主要应用
半导体与电子:用于集成电路的导电层或阻挡层。
光学薄膜:制备高反射镜、滤光片等,利用其可控的光学性能。
装饰镀膜:手机外壳、珠宝的耐磨彩色涂层(通过氮化处理呈现金色等)。
工业防护:工具、模具的硬质涂层(如掺入氮化钛提升硬度)。