半导体产业主要由集成电路、半导体分立器件、光电器件和传感器等产品构成,其中集成电路是半导体产业最大的组成部分,亦是溅射靶材重要应用领域。信息技术的飞速发展,要求集成电路的集成度越来越高,电路中单元器件尺寸不断缩小,元件尺寸由毫米级到微米级,再到纳米级。每个单元器件内部由衬底、绝缘层、介质层、导体层及保护层等组成,其中,介质层、导体层甚至保护层都要用到溅射镀膜工艺,溅射靶材是制备集成电路的核心材料之一。
钒(V)靶材
铁(Fe)靶材
钴(Co)靶材
铌(Nb)靶材
钽(Ta)靶材
钨(W)靶材
镍(Ni)靶材
钛(Ti)靶材
铝(Al)靶材
铜(Cu)靶材
镍钒(NiV)合金靶材
镍铁(NiFe)合金靶材
镍铬(NiCr)合金靶材