鑫康生产的铝铬合金靶材采用先进的热等静压工艺。产品包括矩形靶,弧形靶和长径比大的整体成型管靶等,具有组成比范围广,纯度高,密度大,晶粒细小均匀,使用寿命长的优点。可根据客户要求自由调节,实际密度接近99%。
以下是铝铬合金靶材的生产工艺
原材料 - 混粉 - 包套 - 合金粉末 - 包套压制 - 热等静压 - 金相检验 - 线切割 - 机加工 - 尺寸检验 - 清洁 - 包装
铝铬合金靶材的相关参数
铝铬合金靶材金相检验
通过反复的锻造轧制及热处理使我们能适当的调整靶材的微观结构来达到你想要的效果,如果溅射靶材的晶粒大小均匀一致,用户可以获得良好的溅射速率和均匀镀膜层。下图是铝铬30at%溅射靶材的显微金相检测图片,平均粒径< 100μm。
铝铬合金溅射靶材的成分分析
我们生产铝钛溅射靶材,它重要的好处是纯度和密度高,具有晶粒细小均匀、使用寿命长的优点。下面的表格是2N8 铝铬30at%溅射靶的典型成分分析证明书。