钇溅射靶与其原材料具有相同的性能。沸点 3345℃，熔点 1526℃，密度 4.47g/cm3，是一种灰黑色金属，有延展性，与热水能起反应，易溶于稀酸。由于它们在地壳中的含量稀少，它们的氧化物与氧化钙等土族元素性质相似，因而得名。 钇在工业中用途很广，它可用作钇磷光体使电视屏幕产生红色彩，还用于某些射线的滤波器、超导体和超合金及特种玻璃；钇耐高温和耐腐蚀，可作核燃料的包壳材料；钇与多种氨羧配合剂能生成稳定的螯合物；含钕的钇铝石榴石是优良的激光材料，钇铁石榴石是优良的激光材料，钇铁石榴石和钇铝石榴石是新型磁性材料。
标准钇溅射材料用于薄膜镀膜，CD-ROM，装饰，平板显示器，功能性镀膜，以及其他光学信息存储空间行业，汽车玻璃和建筑玻璃等玻璃镀膜行业，光通信等。 钇溅射靶还可以用于IT-SOFC的氧化钇稳定氧化锆层薄膜的物理气相沉积。
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