
镍钼合金靶材是在高真空环境下,通过物理气相沉积技术被轰击,使其原子或分子被溅射出来并沉积到基板,使其具有优异的导电性,耐高温性以及独特的电磁性能。广泛应用于物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)工艺中。
镍钼合金靶材性能特点
耐高温性:在1000℃高温下仍能保持结构稳定,适用于极端高温环境。
优异的导电性:导电性能优于普通金属,特别适合用在半导体制造中。
结合性能:通过镀膜技术可结合陶瓷的热、电和机械性能,同时具备气密性好、抗潮解等优势。

镍钼合金靶材制备方法
一般以高纯度的镍粉和钼粉为原料,经三维混料机混合均匀后,在 130MPa-150MPa 的压力下进行低压预压制,再将初始压坯放入放电等离子体烧结炉中,在一定的压力、温度和真空度条件下烧结,后经机加工表面打磨抛光得到成品。
镍钼合金靶材应用领域
薄膜太阳能电池:它通常被用作CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池的背接触层。
半导体领域:可用作扩散阻挡层,防止不同金属层之间(如铜互连和硅衬底之间)的相互扩散,避免形成有害的硅化物或导致电路短路。
装饰与防护涂层:由于其优异的耐腐蚀和耐磨性能,镍钼合金薄膜可以沉积在手表、眼镜、卫浴五金、汽车零部件等表面,既提供保护,也赋予产品特定的金属光泽和外观。
耐腐蚀涂层:在化工、海洋工程、医疗器械等领域,为关键部件提供一层耐化学腐蚀和耐磨损的屏障。