长沙鑫康新材料有限公司 金属靶材 钛(Ti)靶材
钛(Ti)靶材
钛(Ti)靶材
产品类别
高纯金属靶材
产品名称
钛(Ti)靶材
元素符号
Ti
纯度
2N7, 4N, 4N5, 5N
形状
平面靶, 旋转靶
钛(Ti)靶材概述

钛靶材


     钛靶材,钛元素符号 Ti ,原子序数 22 ,密度 4.454g/Cm3 ,物理性质:熔点 1668℃,沸点 3262℃,比热容 0.52(J /(Kg·K) ,蒸发热 421(KJ/Mol),熔化热 15.45(KJ/Mol),导电率 0.0234(106/Cm) 。由于高纯钛的成本相当昂贵,应用领域极其有限,主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。高纯钛具有吸气性,特别是吸氢、CH4、Co2气体,因此它能在高真空和超高真空系统中获得广泛应用。用高纯钛溅射制作LSI、VLSI、ULSI的线路网时,可使这些集成件变得格外轻、薄、尺寸小而且线路密集。高纯钛靶材也可以用作阻挡层金属材料。下图是钛溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片,平均粒径<50um。


钛靶材.jpg 高纯钛靶材.jpg

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钛靶材制备工艺流程

备料 - 电子束熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装


钛靶材及其制备方法

钛靶材含有Au、Cu,按质量百分比计合金组成为:0.03%>Au>0.01%,0.1%>Cu>0.07%,Fe<0.05%,0<0.04%,N<0.015%,余量为Ti.其制造方法是采用粒度在-300目至-400目的AuCu20合金粉未和1/2英寸的小规格海绵钛种钛混合后,采用电子轰击炉进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭,通过机械加工方法将钛锭制成所需规格尺寸的钛靶材,采用本发明的钛靶材所制成的镀膜颜色呈金黄色,且比常规镀膜具有耐磨性强,附着力强的特点,从而取得较强的市场竞争力和良好经济效益的作用。


钛靶材的其他合金形式

钛铝合金、钛铬合金、钛镍合金等








镍(Ni)靶材
铝(Al)靶材