长沙鑫康新材料有限公司 金属靶材 镍(Ni)靶材
镍(Ni)靶材
镍(Ni)靶材
产品类别
高纯金属靶材
产品名称
镍(Ni)靶材
元素符号
Ni
纯度
3N, 3N6, 4N, 4N5, 5N
形状
平面靶, 旋转靶
镍(Ni)靶材概述

镍靶材


     镍靶材,镍是银白色金属,具有磁性和良好的可塑性。有好的耐腐蚀性,镍近似银白色、硬而有延展性并具有铁磁性的金属元素,它能够高度磨光和抗腐蚀。溶于硝酸后,呈绿色。主要用于合金(如镍钢和镍银)及用作催化剂(如兰尼镍,尤指用作氢化的催化剂),密度8.902克/立方厘米, 熔点1453℃,沸点2732℃。我们可生产最高纯度到99.999%的高纯镍靶材,主要应用于半导体和微电子行业,是半导体背面电极的关键材料。通过反复的塑性加工我们生产的镍靶具有高致密度,高纯度的特性,且晶粒组织大小均匀一致。我们生产过程的灵活性使我们能适当调整靶材的微观结构来达到你想要的效果,如果溅射靶材的晶粒大小均匀一致,可以获得良好的溅射速率和均匀的膜层。下图是镍溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片,平均粒径在100um左右。


镍靶材.jpg 高纯镍靶材.jpg

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镍靶材制备工艺流程

备料 - 真空感应熔炼 & 电子束熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装


镍靶材及其制备方法

提供镍锭;对镍锭热锻,形成第一镍靶材坯料;对第一镍靶材坯料第一热处理,形成第二镍靶材坯料,第一热处理温度为450℃~550℃,保温1小时~2小时;第一热处理后,对第二镍靶材坯料热轧,形成第三镍靶材坯料;对第三镍靶材坯料第二热处理,形成第四镍靶材坯料,所述第一热处理温度为300℃~500℃,保温1小时~2小时;第二热处理后,对第四镍靶材坯料冷轧,形成第五镍靶材坯料;对第五镍靶材坯料进行第三热处理,形成镍靶材,第三热处理温度为200℃~300℃,保温1小时~2小时.此技术方案制造的镍靶材内部组织比较均匀,磁性能好.


靶材的其他合金形式

镍铬合金靶材、镍铁合金靶材、镍铜合金靶材、镍钒合金靶材等







钨(W)靶材
钛(Ti)靶材