钯溅射靶材与其原材料具有共同特性。钯是银白色过渡金属,较软,有良好的延展性和可塑性,能锻造、压延和拉丝。它具有面心立方晶体结构,在常温下具有很强的抗空气腐蚀和酸作用的能力。它受到热酸的攻击,并溶于王水。它形成许多化合物和几种复合盐。钯具有良好的耐腐蚀性,但可溶于氧化性酸和熔融碱。它很容易吸收氢气(是其自身体积的900倍),但其主要用途是作为氢化催化剂。
钯靶材制备工艺流程
备料 - 真空感应熔炼 - 退火 - 轧制 - 冲压 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 检验 - 包装
钯的主要产品:
1、钯颗粒纯度99.99%;常规尺寸φ3*6mm;用于热蒸镀、电子束蒸镀;
可定做
2、钯靶材纯度99.99% ;常规尺寸φ50*1mm;φ60*3mm;φ76.2*4mm等;用于磁控溅射镀膜;
尺寸可定做
3、电镜钯片、常规尺寸:φ57*0.1mm;φ57*0.2mm;φ58*0.1mm;φ58*0.2mm、用于电镜SEM设备
4、钯箔片纯度99.99%、常规尺寸100*100*0.2mm等;尺寸可定做
钯溅射靶材的应用
高性能钯溅射靶材可用于薄膜镀膜,CD-ROM,装饰,平板显示器,功能性镀膜,以及其他光学信息存储空间行业,汽车玻璃和建筑玻璃等玻璃镀膜行业,光通信等。钯金属的其他主要应用包括用作催化转化器,聚酯生产中的关键催化剂,消除来自内燃机的有害排放物,净化硝酸以及开发合成橡胶和尼龙的原料。