镍铌合金靶材是以镍（Ni）和铌（Nb）为主要元素，按一定比例熔炼制成的溅射靶材，其核心特性包括双相纳米结构、超低间隙元素含量及高温强度优势，广泛应用于
镍铌合金靶材性能特点
高温稳定性：熔点高（Nb 2468 ℃，Ni 1455 ℃），在1000 ℃以上仍能保持良好的强度和抗蠕变性能。
耐腐蚀：表面易生成致密氧化膜，可抵御强酸、强碱及高温燃气腐蚀。
导电/导热性好：适合用作电子薄膜的导电层或阻挡层。
低杂质、高纯度：溅射级靶材通常要求≥99.95 %，氧、碳、氮等杂质控制在0.05–0.2 %以内，保证镀膜质量。晶粒细小均匀（μm 级），溅射速率稳定、膜厚均匀。
镍铌合金靶材制备方法
熔炼： 将高纯度的镍和铌金属在真空或惰性气体保护下进行熔炼（如真空感应熔炼、电弧熔炼），确保成分均匀并减少杂质。
成型： 通过锻造、热轧或冷轧等工艺将铸锭加工成接近靶材终形状的坯料。
热处理： 进行均匀化退火，以消除内应力、细化晶粒，提高材料的致密度和性能一致性。
机械加工： 使用精密机床将坯料加工成客户要求的终尺寸和形状，并保证表面光洁度和公差。
镍铌合金靶材应用领域
半导体领域：可用于溅射制备阻挡层、电极和互连材料等。镍铌合金薄膜能够有效地阻止金属原子的扩散，提高半导体器件的性能和可靠性，在集成电路制造中具有重要应用。
显示技术领域：在 OLED、液晶显示器等平面显示行业，镍铌合金靶材可用于制备电极或反射层材料，有助于提高屏幕的亮度、响应速度和色彩稳定性。
光学镀膜领域：可用于制备各种光学涂层，如红外反射膜、抗激光损伤膜层等，应用于精密光学器件、激光系统和光学仪器等领域，以满足不同的光学性能要求。
耐磨与耐蚀涂层领域：由于其良好的耐磨和耐蚀性能，镍铌合金靶材可用于在机械零件、工具表面等制备耐磨和耐蚀薄膜，提高零件的使用寿命和性能，在航空航天、汽车制造、机械加工等行业有广泛的应用前景。
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