guapai
长沙鑫康新材料有限公司 新闻资讯 行业资讯 关于铝硅铜合金靶材性能,制备方法及其应用介绍
新闻内容

关于铝硅铜合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

铝硅铜合金靶材

铝硅铜合金靶材具有良好的导电性、热稳定性和机械性能。按一定比例投入真空熔炼炉中,在高温下熔融,然后通过精炼、过滤等工艺制备。广泛应用于微电子、光学镀膜、显示技术等领域。


铝硅铜性能特点

导电性与热稳定性:铝提供良好的导电性,硅和铜的加入可提高合金的抗电迁移能力和耐高温性能,适用于高功率器件。
低热膨胀系数:硅的加入降低合金的热膨胀系数,减少与硅基衬底的应力失配。
机械强度:铜增强合金的硬度和耐磨性,延长靶材使用寿命。
成膜均匀性:溅射形成的薄膜致密、附着力强,适合精密镀膜。


铝硅铜合金溅射靶材


铝硅铜合金靶材制备方法

原料准备:根据应用需求(如半导体、显示镀膜)确定Al、Si、Cu的比例(例如Al-1%Si-0.5%Cu,重量百分比)。需严格控制杂质含量(如Fe、O等)。
熔炼与合金化:在真空或惰性气体(Ar)保护下熔炼,防止氧化。先熔化铝和铜,再加入硅(硅熔点高,需高温或预合金化)。电磁搅拌确保成分均匀,熔炼温度控制在800~1000℃。将熔融合金浇入预热(200~300℃)的金属模具中,形成铸锭。
退火工艺:铸锭在500~550℃下保温12~24小时,消除成分偏析,改善组织均匀性。
成型:铸锭加热至400~500℃进行热轧或锻造,逐步变形至所需厚度。


铝硅铜合金靶材主要应用领域
光学镀膜:用于制备红外反射膜、透明导电膜(如AZO,铝掺杂氧化锌),应用于太阳能电池、节能玻璃等。

半导体制造:用于集成电路互连线、焊盘镀层,替代纯铝以提高可靠性。
平板显示:液晶(LCD)或OLED面板的电极镀膜,增强导电性和耐腐蚀性。
光学涂层:制备反射镜或装饰性镀层。
耐磨涂层:因其良好的耐磨性,可用于工具、轴承等表面镀膜


铝硅铜合金主要应用领域

航空航天领域:铝硅铜合金具有优异的强度和耐热性,常用于制造飞机发动机零部件、卫星结构件、火箭发动机等高温高压的零部件。
汽车制造领域:铝硅铜合金在汽车制造中主要用于制造发动机零部件、传动系统、轮毂等高强度要求的零部件。
电子设备领域:铝硅铜合金具有优良的导热性能和电磁屏蔽能力,被广泛应用于制造电子设备的外壳、散热器、连接器等部件。
建筑领域:铝硅铜合金能够制成各种形状和规格的型材,用于建筑的结构件、门窗框、幕墙等部件。


感谢您阅读关于铝硅铜合金靶材性能,制备方法及其应用介绍,希望大家能对铝硅铜合金靶材有更好的了解。如果您想了解更多关于金属科研材料的信息,请收藏我们的网站鑫康新材料靶材生产厂家https://www.xk-sputteringtarget.cn/


[免责声明]本站文章部分为原创,其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理,不属于商业用途,仅用于读者信息分享,供读者学习参考,不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责,且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权,因整理资料所需,文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的,如有版权的则其所属的知识产权归属原作者,本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者,若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题,请联系我方(联系电话:0731-86393472)及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考,力求数据严谨准确,但因受时间及人力限制,文章内容难免有所纰漏,如有重大失误失实,敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有,转载请联系本站,本站拥有对此声明的终解释权。




半导体封装与芯片制造用高纯靶材