铝锌合金靶材通过特定工艺制备而成的合金靶材,具有耐磨性好、摩擦系数小、摩擦温升低等特性。广泛应用于光学镀膜、半导体、显示技术和功能性涂层等领域。
铝锌合金靶材性能特点
轻量化:铝锌合金密度较低,适合需要轻质材料的应用。
耐腐蚀性:锌的加入提升了铝的抗氧化和耐腐蚀性能。
导电/导热性:保留铝的优良导电性和导热性。
成膜均匀性:溅射时膜层致密,附着力强。
良好的导电性:铝和锌本身都是具有良好导电性的金属,其合金靶材制备的薄膜也具有优异的导电性能,能够满足电子器件等领域对导电薄膜的要求。
铝锌合金靶材制备方法
原料准备:选用纯度≥99.99%的铝(Al)和锌(Zn)颗粒或锭块,根据靶材成分要求(如Al:Zn = 50:50 at.% 或 90:10 at.%),精确称量原料。
熔炼与合金化:将原料放入真空感应熔炼炉或电弧熔炼炉中,抽真空至10?3 Pa以上,充入惰性气体(如氩气)保护。升温至铝锌共晶点以上(约500-600℃),充分搅拌使合金成分均匀,避免Zn挥发(可适当过量添加Zn补偿挥发损失)。将熔融合金浇入预热(200-300℃)的铜模或石墨模中,冷却形成铸锭。
均匀化处理:将铸锭在300-400℃下保温10-24小时,消除成分偏析,提高组织均匀性。
机械加工:热锻或热轧(温度200-300℃)铸锭至所需厚度,细化晶粒并提高致密度。车削或铣削成接近靶材尺寸的坯料,表面粗糙度控制在Ra≤1.6 μm。
铝锌合金靶材主要应用领域
光学镀膜:用于制备红外反射膜、透明导电膜(如AZO,铝掺杂氧化锌),应用于太阳能电池、节能玻璃等。
半导体工业:作为电极或导电层材料。
显示技术:用于LCD、OLED等显示器的薄膜晶体管(TFT)背板。
防腐涂层:铝锌合金膜具有优异的耐腐蚀性,用于汽车、船舶或建筑材料的防护。
铝锌合金主要应用领域
汽车制造:铝锌合金在汽车制造领域应用广泛,如发动机零部件、车身结构等。
航空航天:铝锌铝合金可用于制造航空发动机部件、飞机机身结构和航空航天设备等。
船舶工业:船舶结构和设备需要具有较高的耐腐蚀性和耐候性,锌铝合金正好符合这些要求,可用于制造船体结构、船舶配件和船用设备。
建筑领域:铝锌合金在建筑材料领域被广泛应用于屋顶、墙板、门窗等
电子电器领域:锌铝合金具有良好的导热性能和耐腐蚀性能,能够满足电子产品领域对材料导热、耐用的需求.
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