关于铝镍合金靶材性能，制备方法及其应用介绍

铝镍合金靶材是一种由铝（Al）和镍（Ni）元素组成的合金靶材，具有优异的耐腐蚀性、耐磨性和高温性能。主要用于物理气相沉积（PVD）等工艺，通过溅射的方式在基底材料上沉积形成铝镍合金薄膜。

铝镍合金靶材性能特点

机械性能：具有较高的强度和硬度，能增强薄膜的耐磨性和抗变形能力，使其在应用中不易受到外力破坏。
耐腐蚀性：铝和镍的组合赋予了合金良好的耐腐蚀性能，可抵御多种化学物质的侵蚀，提高薄膜的使用寿命。
抗氧化性：在高温环境下，铝镍合金表面能形成一层致密的氧化膜，阻止进一步的氧化，确保薄膜在恶劣环境下的稳定性。
导电性与导热性：铝和镍都是良好的导电和导热材料，因此铝镍合金靶材制备的薄膜具有较好的导电、导热性能，可满足电子器件等领域的相关需求。

铝镍合金靶材制备方法

原料准备：选用纯度大于99.9%的铝块和镍块，根据靶材成分要求（如 Al-Ni合金中Ni含量为5%~30%），按化学计量比精确称重配料。
真空熔炼制备：将原料放入真空感应炉中（配备石墨或氧化镁坩埚），抽真空至≤10?3 Pa，充入高纯氩气保护。加热至1500-1600℃（高于Ni熔点1455℃），待镍液均匀后，加入铝原料（因铝熔点低，后加可减少挥发），升温至 700~800℃，使铝完全熔化。然后用电磁搅拌或惰性气体搅拌（如氩气）使合金液成分均匀，保温 20~30 分钟，确保元素扩散充分。
铸锭成型：将合金液倒入预热至 200~300℃的铜模或石墨模具中，快速冷却（水冷或空冷），得到合金铸锭。
铸锭处理：将铸锭放入真空退火炉，加热至 400~500℃（低于合金再结晶温度），保温 4~8 小时，随炉冷却。退火后铸锭在 300~400℃下进行热锻或热轧，变形量控制在 30%~50%，破碎铸造晶粒，提高致密度。
机加工：将得到的铝镍合金溅射靶材粗品进行机加工，得到镍铝合金溅射靶材。