合金溅射靶材五种常用的制备方法

合金溅射靶材是一种金属和其他金属或非金属组成的材料，同时仍显示出一些金属特性。合金通常是通过将各自的熔融成分熔化并从高温冷却以变成冷凝物而获得的。大多数合金是混合物而不是纯化学物质，但合金中的每种成分仍然保持其自身的化学性质。根据所含元素的多少，合金溅射靶材分为二元合金、三元合金和多元合金。合金比纯金属具有更广泛和重要的工业应用，因此人们在日常生活中很少使用纯金属，而是使用合金。

一、熔炼和浇铸
将合金原料按照一定配比熔炼，然后将合金溶液倒入模具中，形成铸锭，再经过机械加工制成靶材。铸造方法在真空中熔炼，铸造。优点是靶材含量，特别是气体杂质含量低，密度高，可规模化；缺点是两种或多种金属的熔点和密度相差较大，普通的熔炼方法难以获得合金浓度均匀的成分，如钛铝合金。

二、粉末金属法
粉末冶金法是将一定配比的合金原料熔炼，浇注成锭然后破碎，将粉碎形成的粉末经等静压成形，然后高温烧结，形成靶材。这种方法的优点是靶材材料的成分均匀；但缺点是密度低，杂质含量高，常用的金属粉末生产工艺有冷压、真空热压和热等静压。

三、强电流加热法
强电流加热法是采用大电流的装置，利用大电流使两种或多种原料的粉末发热，然后施加压力，使多种金属反应形成合金靶，这种方法可用于钛铝合金靶材的生产。钛粉和铝粉加热，加压，使铝和钛自身反应，制成钛铝合金靶材。

四、热等静压烧结法
热等静压烧结是指通过高温和各向均衡的高压气体的共同作用，使陶瓷粉末、坯体或预烧体达到烧结致密化的工艺方法。将多种金属粉末混合，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成型，然后烧结和加工以获得合金靶材。这种方法适用于生产形状复杂的产品，可以增加产品的重量和性能。

五、热压烧结法
热压烧结是将干燥粉料充填入模型内，再从单轴方向边加压边加热，使成型和烧结同时完成的一种烧结方法。热压烧结由于加热加压同时进行，粉料处于热塑性状态，有助于颗粒的接触扩散、流动传质过程的进行，因而成型压力仅为冷压的1/10；还能降低烧结温度，缩短烧结时间，从而抵制晶粒长大，得到晶粒细小、致密度高和机械、电学性能良好的产品。无需添加烧结助剂或成型助剂，可生产超高纯度的陶瓷产品。热压烧结的缺点是过程及设备复杂，生产控制要求严，模具材料要求高，能源消耗大，生产效率较低，生产成本高。

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