灯丝蒸发的方法是简单的电阻加热元件或灯丝。这些电阻蒸发灯丝有许多不同的物理配置,包括许多被称为“舟”的材料——基本上是合适的高温金属(例如钨)的薄金属片,带有成型的凹痕或凹槽,材料放置在其中。灯丝电源提供低电压的安全性,需要非常高的电流,通常是几百安培。
我们还提供残余气体分析仪 (RGA) 等附件以及其他自定义功能和自定义自动化功能,以帮助您完善热蒸发技术和方法。低温泵是用于蒸发的流行的高真空泵类型,但如果需要,也可以使用其他选项。无论选择哪种选项,薄膜蒸发系统都可以提供相对较高的沉积速率、实时速率和厚度控制以及(具有合适的物理配置)良好的蒸发流方向控制,用于提升处理等目的,以实现直接图案涂层。如果您对蒸发材料或者蒸发镀膜有疑问,请向我们联系。
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