电子束蒸发是一种物理气相沉积 （PVD）技术，它在真空下利用电子束直接加热蒸发材料（通常是颗粒），并将蒸发的材料输送到基板上形成一个薄膜。电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜。
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