ITO靶材不同制备方法的优缺点

之前我们介绍了ITO靶材的四种主要成型方法，主要是关于它们的定义和特点。而今天我觉得有必要谈谈每种方法的优缺点，这有助于你在准备ITO靶材时在它们之间做出选择。

ITO靶材制备方法热压

热压法是压制成型和热烧结同时进行的工艺，该工艺的优点是：

(1)在热压过程中，由于粉末处于热塑性状态，变形阻力小，塑性流动和致密化容易，因此所需的成型压力小。(2)同时加热和加压有利于粉末颗粒之间的接触、扩散和流动，降低烧结温度和缩短烧结时间，抑制晶粒长大。(3)热压法容易得到接近理论密度、孔隙率接近于零的烧结体，容易得到细晶组织。

(2)同时加热和加压有利于粉末颗粒之间的接触、扩散和流动，降低烧结温度和缩短烧结时间，抑制晶粒长大。

(3)热压法容易得到接近理论密度、孔隙率接近于零的烧结体，容易得到细晶组织。

这种方法的主要缺点是：

(1)由于热压设备和模具尺寸的限制，得到的目标尺寸较小。目前目标的大尺寸为400×300mm。

(2)该方法对模具材料（一般为高纯高强度石墨）要求较高。而且热压设备需要进口，不适合工业化连续生产。生产效率低，成本高。

(3)靶材晶粒的均匀性差。

ITO靶材制备方法热等静压

热等静压是制备ITO 溅射靶材常用的方法。它具有以下优点：

(1)可以克服石墨模具中热压的缺点。

(2)在加热加压状态下，产品同时向各个方向加压，使所得产品具有很高的密度（接近理论密度）。

(3)热等静压强化了压制和烧结过程，降低了烧结温度，从而避免了晶粒长大，使制品获得优良的物理机械性能。

这种方法的主要缺点是 ：

(1)靶材尺寸受设备压力和气缸尺寸的限制，难以制备大尺寸靶材。

(2)设备昂贵，投资成本高。

(3)生产效率低，生产成本高，使产品缺乏竞争力。

ITO靶材制备方法常温烧结

常温烧结法的主要优点是：

(1)靶材尺寸不受设备限制，可以生产大尺寸靶材。

(2)设备投资少，生产成本低，生产效率高，靶材性能优良，易于工业化生产。

(3)该方法适用于高端显示器镀膜靶材的性能要求。

它的缺点是：

(1)该方法与其他方法相比是难烧结的方法。为了获得致密的烧结体，通常需要添加烧结助剂。然而，烧结助剂很难从烧结体中去除，从而降低了产品的纯度。

(2)对粉体的形状、粒度和粒度分布有严格要求。为达到要求，一般对粉体进行球磨、气流磨和沉降分级。

(3)生产的靶材一般较薄。

ITO靶材制备方法冷等静压

冷等静压制备ITO靶材的优点是：

(1)与机械压制相比，由于冷等静压压力大，工件受力均匀，特别适合压制大尺寸粉末制品。

(2)压粉产品具有密度高、均匀的优点。

(3)压粉不需要添加润滑剂等。

(4)生产成本低，适合大批量生产。

然而，高压氧的使用使该过程变得危险。

长沙鑫康靶材是一家溅射靶材制造商。我们以具有竞争力的价格提供高质量的金属、合金、氧化物和陶瓷材料。有关靶材只是可以关注我们的公众号：xinkang11111，或者电话、微信与我们联系。

本文资料部分来源于国外网络（@Stanford Advanced Materials），本站对此不持任何立场和观点，如需转载请自行联系出处。

[免责声明]本站文章部分为原创，其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理，不属于商业用途，仅用于读者信息分享，供读者学习参考，不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责，且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权，因整理资料所需，文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的，如有版权的则其所属的知识产权归属原作者，本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者，若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题，请联系我方（联系电话：0731-86393472）及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考，力求数据严谨准确，但因受时间及人力限制，文章内容难免有所纰漏，如有重大失误失实，敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有，转载请联系本站，本站拥有对此声明的终解释权。