镍钼合金靶是在高真空环境下，通过物理气相沉积技术（主要是磁控溅射）被轰击，使其原子或分子被溅射出来并沉积到基板（如玻璃、硅片、塑料等）上，从而形成一层薄而均匀的镍钼合金薄膜的材料。其膜具有优异的耐腐蚀性与抗氧化性，同时高强度和良好的热稳定性。广泛应用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）工艺中。
镍钼合金靶材主要特征
优异的耐腐蚀性：钼的加入极大地增强了纯镍薄膜的耐腐蚀能力，特别是在非氧化性酸（如盐酸、氢氟酸）和氯化物环境（如海水）中具有极强的抵抗力，能有效防止点蚀和缝隙腐蚀。
高强度和良好的机械性能：钼作为强化相，能显著提高镍基体的强度、硬度和耐磨性，同时薄膜本身具有良好的韧性和结合力。
优异的热稳定性：镍和钼都是高熔点金属（Ni：1455°C， Mo：2623°C），因此合金薄膜在高温下仍能保持结构稳定和性能，不易氧化或软化。
特定的电学性能：镍钼合金的电阻率高于纯镍，且可以通过调整成分比例来调控。
镍钼合金靶材制备方法
原料准备：选用高纯度镍粉（纯度≥99.95%）和钼粉（纯度≥99.95%），按目标合金成分（如 Ni-10Mo、Ni-20Mo 等）精确称重配料。
成型：常用冷等静压成型，将混合粉末装入弹性模具，在 150-200MPa 压力下压制，获得具有一定强度的素坯。将素坯放入真空或氢气保护炉中，在 1000-1200℃下预烧，去除粉末间隙气体，初步形成合金相，提高素坯致密度。
热压烧结：真空环境下，1200-1400℃温度、30-50MPa 压力下保温 2-4 小时，通过高温高压促进颗粒结合。
将烧结后的坯料加工成客户要求的精确尺寸和形状，并保证与背板的焊接面具有极高的平整度和光洁度。
镍钼合金靶材应用领域
半导体、显示及光伏行业：作为耐蚀阻挡层或功能膜层材料；
化工、海洋工程：用于高纯镍钼涂层，提高零部件在苛刻介质中的服役寿命；
功能性涂层：利用其特定的电学、机械和化学稳定性，可用于传感器、微机电系统等精密器件的功能层。
镍钼合金应用领域
化学过程工业：用于制造耐纯盐酸、硫酸、磷酸、醋酸及多种非氧化性有机酸介质的反应釜、蒸发器、换热器、和阀门等关键设备
石油化工与能源：煤液化、天然气净化、甲醇合成等流程中的高温高压换热器和反应容器
航空航天与高温结构：航空发动机燃烧室、加力喷管、导弹壳体及航天器高温承力部件
海洋工程与船舶：海洋平台钻井泵、阀门及高压管路系统，可长期抵抗含砂海水和微生物腐蚀
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