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关于镍硼合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

镍硼合金靶材

镍硼合金靶材通过它制备出的镍硼薄膜,具有非晶态结构、高硬度、优异的耐磨耐腐蚀性以及独特的催化性能。通常用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等领域。通过磁控溅射等物理气相沉积(PVD)技术,在基片表面沉积镍-硼功能薄膜。


镍硼合金靶材主要特征

良好的导电/导热性,可在较低功率下维持稳定辉光;
优异的耐腐蚀与抗氧化性,适合在酸性或潮湿环境中使用;
非晶态镍硼薄膜具有高硬度(HV 900-1200)和低摩擦系数,可显著提升器件耐磨寿命


镍硼溅射靶材


镍硼合金靶材制备方法

原料准备:选择高纯度的镍粉和高纯硼粉作为原料。
成形:常采用冷等静压。将粉末填入弹性模具(如橡胶模)中密封,然后放入高压容器中,通过液体介质(油或水)施加各向同性的高压(如200-400 MPa),压制成具有一定强度的“生坯”。
烧结: 在真空环境中,同时对坯料施加高温(通常低于镍的熔点,约1000-1200°C)和单向压力, 从而获得高致密度的合金块体。
后续加工: 使用车床、铣床、磨床等将烧结坯料精确加工至客户要求的终尺寸。


镍硼合金靶材应用领域

半导体与电子:用于芯片互连层、电磁屏蔽层等,提升导电性和热稳定性。
新能源技术:在钙钛矿电池中作为空穴传输层,优化光电转换效率;锂离子电池中用作集流体功能层,降低界面阻抗。
光学与显示:制备OLED透明导电膜(TCO)及抗反射涂层,增强透光率和耐用性。
工业防护涂层:提供耐磨、抗氧化的表面保护,延长器件寿命。


镍硼合金应用领域

机械制造与工业零部件(核心应用:表面耐磨 / 减摩)
电子电气领域(核心应用:导电 / 耐腐蚀 / 钎焊)
航空航天与国防(核心应用:高温耐磨 / 抗腐蚀 / 轻量化)
化工与腐蚀环境(核心应用:耐蚀 / 耐磨)
汽车工业(核心应用:轻量化 / 耐磨 / 环保)



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