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铼靶材特征应用及制备工艺详细介绍

铼靶材


铼靶材是由高纯铼金属组成的银灰色靶材,密度较高、熔点较高,具有良好的耐热性和耐腐蚀性。它的熔点高达3180°C,使其在高温环境下具有出色的稳定性。铼靶材广泛应用于半导体、光电子、航空航天、化工等领域。在半导体工业中,铼靶材用于制备薄膜材料,如硅、氮化硅等。

铼靶材特征
铼靶材形状:平面靶 异型定制
铼靶材纯度:3N5, 4N
铼靶材尺寸:按图纸加工或者定制
我们还可以提供金属铅块、铅颗粒、铅锭等

铼溅射靶材



铼靶材制备方法
铼粉制备:将铼粉加入球磨机中,并在球磨机中进行球磨混合,以获得细小的铼粉。
铼粉烧结:将铼粉放入烧结炉中,通过高温烧结使铼粉颗粒结合,形成固体块状。
铼块加工:将铼块取出,进行机械加工,如切割、磨削、抛光等,以获得所需的铼靶材形状和尺寸。
清洗和检验:对铼靶材进行清洗,去除表面污染物。然后对铼靶材进行质量检验,包括外观检查、尺寸测量、化学成分分析等。
需要注意的是,铼靶材的制备过程可能因具体应用而有所差异,上述步骤仅为一般制备方法的概述。在实际操作中,还需要根据具体要求和设备条件进行调整和优化。

铼靶材应用
铼靶材是一种用于物理蒸发、磁控溅射和电子束蒸发等薄膜制备技术的重要材料。
它广泛应用于以下领域:
半导体行业:铼靶材常用于制备薄膜材料,如金属铼薄膜、氮化铼薄膜和铼硅薄膜等,用于制造半导体器件和集成电路。
光电子行业:铼靶材常用于制备光学薄膜,如反射镜、透镜、滤光片等,用于光学仪器、激光器、光纤通信等领域。

铼其他用途
铼合金领域
铼的全球储量很少,同时价格也比较昂贵,在应用上多采用含铼的合金。作为合金添加元素,铼能够大幅度改善、提高合金的性能。铼能与钨、钼、铂、镍、钍、铁、铜等多种金属形成一系列合金,其中铼钨、铼钼、铼镍系高温合金是铼的重要的合金,被广泛应用到航空航天、电子等工业部门。

铼效应
铼能够同时提高钨、钼、铬的强度和塑性,人们把这种现象称为"铼效应"。如添加少量(3~5%)的铼能够使钨的再结晶起始温度升高300~500℃——铼(Re)的上述作用被称为铼效应。W-Re和Mo-Re合金具有良好的高温强度和塑性,可加工成板、片、线、丝、棒,用于航天、航空的高温结构件(喷口、喷管、防热屏等)、弹性元件及电子元件等。

催化剂
铼及其化合物具有优异的催化活性(铼对很多化学反应具有高度选择性的催化功能),因而常被用作石油化工等领域的催化剂。催化重整是石油炼制过程之一,是提高汽油质量和生产石油化工原料的重要手段。铼铂合金作为催化重整过程中的一种催化剂,能够提高重整反应的深度,增加汽油、芳烃和氢气等的产率。此外,铼还可用作汽车尾气净化的催化剂,而铼的硫化物则可用作为甲酚、木素等的氢化催化剂。

铼靶材其他系列产品
除铼靶材外,我们还可以提供钨铼合金、钼铼合金、镍铼合金、锇铼合金靶材等。


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