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关于铝靶材介绍

铝溅射靶材方靶

铝靶材具有与金属铝相同的性能。它的密度为 2.7 g/cm3,熔点为660℃,沸点为2500℃,是一种银白色的金属材料。它在正常条件下轻盈、延展性好且无磁性。铝靶材是用于真空镀膜行业溅射靶材中的一种,是高纯铝经过系列加工后的产品,具有特定的尺寸和形状高纯铝材料,安装在真空镀膜机上,溅射成膜。

铝靶材特征
铝靶材形状:平面靶 旋转靶 异型定制

铝靶材纯度:2N5, 4N, 4N5, 5N, 5N5

铝靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供铝丝、铝片、铝棒、铝粒、铝块、铝粉等

铝靶材制备工艺
以高纯度铝锭作为原材料,对原材料进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。对变形处理后的高纯度铝材料进行机械加工,铝靶材加工要求精度高、表面质量高,加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了,铝靶材与镀膜机多以螺纹相连接。以下是我们的铝溅射靶材的显微照片,平均晶粒尺寸<300μm

铝溅射靶材金相


铝合金靶材的制作工艺

通常采用粉末冶金方法制备铝钛、铝铬系列合金溅镀靶材,可以防止成分偏析和微颗粒现象,生产效率高,综合成本较低。其制备工艺如下:熔熔金属使其合金化,然后以气雾化法将金属熔液制成金属粉末;筛分合金粉,获得适当粒径的粉末;或者直接使用单质金属粉末进行混合;终,以热压或者热等静压方式将该筛分后的金属粉末压制成形,制成铝钛、铝铬系列溅镀靶材毛坯。成形温度一般为500~ 650℃,时间为80 ~ 100min,压力为20 ~50MPa;通入氩气作为保护气体。


铝靶材应用
铝靶材在很多行业都有应用,因为它可以沉积廉价的铝膜。当在真空中蒸发时,铝层会形成望远镜、汽车前照灯、镜子、包装和玩具上的反射涂层。它还广泛用于航空航天、汽车照明、OLED 和光学行业。


铝溅射靶材圆靶


铝靶材合金系列
除铝靶材外,我们还可以提供铝铜合金,铝钕合金,铝钛合金,铝硅合金,铝铬合金,铝钪合金,锆铝硅合金,铝钛硅合金,铝硅铜合金等靶材。


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