常用溅射背板材料选择要求及重复使用说明

溅射靶材分为面板和背板。根据材料的不同，溅射靶材背板也有所不同。目前常见的溅射靶材背板材料主要有无氧铜、钼、不锈钢管、铟等背板材料。

无氧铜（OFC）——目前背板常用的材料是无氧铜，因为它具有良好的导电性和导热性，并且易于加工。如果维护得当，无氧铜背板可以重复使用十次以上。

钼 (Mo) – 用于一些特殊条件，例如高温粘合。铜背板在高温下较易氧化或者翘曲，因此当铜背板与靶材的热膨胀系数不匹配时，钼背板可与一些热膨胀系数小的靶材匹配。

不锈钢管（SST）——目前，不锈钢管常用作旋转靶材的背管。不锈钢管具有良好的强度和导热性，非常经济。

背板重复使用
首先，应将使用过的背板卸下靶材，并对背板进行全面检查。检查重点包括背板的平整度、完整性和密封性。然后根据背板检查结果确认是否重复使用。

大部分背板都可以重复使用，尤其是带有铟的背板易于清洁和重复使用。如果使用其他涂层剂（包括环氧树脂），背板表面可能需要进行机械处理才能重新使用

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