在物理气相沉积过程中，靶材被分解成蒸气状态（通常在高真空环境中），然后沉积在其他材料（称为基板）上以形成薄膜。溅射靶材采用物理气相沉积技术制成的薄膜具有许多优点，例如优异的硬度、耐用性和良好的抗变色和耐腐蚀能力。因此，如今靶材溅射镀膜越来越多地用于多种用途，对靶材的需求也迅速增加。
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