靶材绑定代加工-鑫康靶材绑定背板技术服务支持

靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式：压接、钎焊和导电胶。压接采用压条, 一般为了提高接触的良好性，会增加石墨纸、Pb或In皮;钎焊一般使用软钎料的情况下，钎料常用In、Sn、In-Sn，要求溅射功率小于20W/cm2;导电胶采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0 05微米。无氧铜背板是靶材绑定通用的背板.具有足够强度，导热性导电性也极高.而且容易施工.价格低并可重覆使用。

为什么要绑定
1、防止靶材受热不匀碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材；
2、节省成本，防止变形，如靶材太贵，可将靶材做薄些，绑定背靶以防止变形。

靶材背靶的选择
1、对材质的要求一般选用无氧铜和钼靶，导电性好，无氧铜的导热性比紫铜好；
2、厚度适中，一般建议背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。

靶材绑定过程
1、绑定前将靶材和背靶表面预处理，
2、将铜背板固定于加热台上,将靶材放置铜背板上，对铜背板进行加热,
3、加热到绑定温度，通过钎焊将靶材贴合在铜背板上
4、表面上放置配重块,待靶材冷却后取下配重块处理。如此,解决了铟流动性不均匀的问题及避免了粘贴面气孔的产生,从而提高了靶材与铜背板的绑定质量。

靶材绑定使用的注意事项
1、溅射温度不宜太高
2、电流要缓慢加大
3、循环冷却水应低于35摄氏度
4、适宜的靶材致密度

背靶脱落的原因
1、溅射温度高，背靶易被氧化和发生翘曲，靶材在高温溅射时会开裂，造成背靶脱落；
2、电流太大，导热太快造成温度过高，焊料熔化，造成焊料不均匀，造成背靶脱落；
3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度，循环水温度高，造成散热不好而脱落；
4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。

以上是关于靶材绑定的简单描述，希望能让大家了解靶材绑定。鑫康新材料公司专注于溅射靶材研发、生产。由中南大学材料科学工程学院材料科学专业的几位博士、硕士等科研人员一手创建，是集金属及陶瓷化合物镀膜材料研发、生产、销售于一体的具有自主知识产权的高新技术企业。欢迎留言或致电！！！