陶瓷靶材是比较脆的靶材，通常陶瓷靶材都会绑定背板一起使用。背板除了在溅射过程中可支撑陶瓷靶材，还可以在溅射过程中起到热传递的作用。陶瓷靶材一般选用无氧铜和钼靶做背板绑定。
无氧铜背板
无氧铜是通用的背板.具有足够强度，导热性导电性也极高.而且容易施工。价格低并可重覆使用。
无氧铜背板背板绑定流程
将铜背板固定于加热台上，将靶材放置铜背板上，对铜背板进行加热，通过钎焊将靶材贴合在铜背板上，靶材的远离铜背板的表面上放置配重块，待靶材冷却后取下配重块步骤。
将铜背板固定于加热台上，铜背板在升温过程中变形量减少，提高了粘贴面的平整度，为高质量的靶材绑定做好准备，钎焊后在靶材上放置配重块，解决了铟流动性不均匀的问题及避免了粘贴面气孔的产生，从而提高了靶材与铜背板的绑定质量。
钼背板适用于高温绑定，然而铜背板在高温下较易氧化或者变形。当铜背板与靶材的热膨胀系数不匹配时，钼背板可与一些热膨胀系数小的靶材匹配。
以上是陶瓷靶绑定比较常用的背板，陶瓷靶材的种类很多，我们可以根据陶瓷靶的不同性质选用不同的背板。如果您对陶瓷靶的绑定有任何疑问，可以随时电话或者微信与我们沟通。
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