靶材材料是什么

2021.5.6号更新

*注以上四种配色均为鑫康主打的靶材材料加工元素

靶材材料通过真空熔炼或粉末冶金技术，把元素周期表中的某一种金属或非金属元素加工制作得到某种材料，此材料就是我们所说的靶材，是一种高速荷能粒子轰击的目标材料。鑫康生产的靶材纯度在99.9%到99.9999%，形状有平面靶、旋转靶、异型定制。

靶材材料可分为
金属靶材（Al，Au，Cr，Co，Ni，Cu，Mo，Ti，Ta...）、合金靶材（NiCr，CoNi，CoCr，TbFeCo，GdFeCo， MoW，CrSi...）、陶瓷靶材（氧化物，硅化物，碳化物，硫化物...）。

靶材的制备
靶材的制备工艺按金属、非金属类区别，制备过程中除严格控制成分、尺寸之外，对材料的纯度、热度处理条件及成型加工方法等亦需严格控制。

铸锭（真空或大气感应、电容解电子束溶、解法连续铸造）或粉末冶金(筛选及混合热压、热等静压(HIP) 冷压及烧结 )- 成型(锻造、热轧或冷轧、拉伸) - 热处理(均质化、再烧结) - 机械加工(切削、铣、车、磨、刨) - 与背扳接合(软焊、扩散焊) - 检测（超声波、光....）包装运输

非金属粉末（粉末筛选及混合热压、热等静压(HIP)、冷压及烧结）- 机械加工(切削、铣、车、磨、刨) - 与背扳接合(软焊、扩散焊) - 检测（超声波、光....）包装运输


靶材材料不同，制备的靶材在各种产业的应用也是有区别
微电子领域：铝合金(4N-6N)Al、AlSi、AlCu、AlTi、AlSiCu、AlSiPd、AlSiTi；硅化物(5N)，MoSi、WSi、TiSi；镍(4N)，Ni、NiCr；高熔点金属(3N-6N)，MoW、TiW；铬(3N)，Cr、Cr-Si；钽(3N-6N)Ta；铜(4N-6N)Cu；钛(4N-5N)Ti。

平面显示领域：铌靶（3N5）Nb；硅靶(4N-5N)Si；铬靶（2N5-3N5）Cr；钼靶（3N5）Mo、MoNb；铝合金靶；铜合金。

磁记录领域：钴(3N)，CoNi、CoNi-Cr、CoCrTa、CoCrPt、CoCr；镍NiFe；铁合金，FeCo、FeSiAl、FeGaSi；铬(3N-4N)Cr。

光碟领域：碲、硒(4N)，Te、Se、TbFeCo、DyTbFCb、NdDyFbCo、GdTbFeCo、DyFeCo；稀上金属(3N)，TbFe、TbFeCo、DyTbFeCo、DyFeCo、NdDyFbCo、GdTbFeCo、DyFeCo。

电子器件领域：镍合金(3N)，NiCr、NiCrSi、NiCrAl、NiCu；钽(3N-6N)，Ta、TaAl；铬(3N)，Cr-Si。

太阳能光伏领域：氧化锌铝靶、氧化锌靶、锌铝靶、钼靶、硫化镉（CdS）靶、铜铟镓硒等。

装饰领域：镍合金（3N-4N）Ni，NiV、NiCr；钒靶（2N-3N）V；钼靶（3N5）Mo；钛靶（4N-5N）Ti；铝钛合金（2N8）AlTi。

工具镀膜：TiAl靶、铬铝靶、Cr靶、Ti靶、TiN、TiC、Al203等。