铁镍钴合金靶材主要性能
热膨胀匹配性： 这是其显著的特点。沉积后的薄膜能与玻璃或陶瓷基底同步热胀冷缩，避免因应力集中导致的分层或开裂。
良好的可焊性与封接性： 合金表面易形成致密的氧化膜，能与玻璃发生化学反应形成牢固的化学键合（浸润性好），实现高气密性封装。
优异的电磁性能： 具有较高的居里点（如4J29约为430℃），在较宽温度范围内保持磁性稳定，适用于磁性器件。
耐腐蚀与抗氧化： 在真空及特定气氛下具有良好的稳定性。
铁镍钴合金靶材制备方法
原料准备：选用高纯度的铁（Fe）、镍（Ni）、钴（Co）金属（纯度通常≥99.95%），按设计成分（如等原子比或特定磁性能配比）精确称量。
真空熔炼：将配料装入真空感应熔炼炉，抽真空至≤1×10-3 Pa，防止氧化与杂质引入。
升温至1500-1600℃使金属完全熔融，通过电磁搅拌使熔体成分均匀，保温 30~60 分钟完成合金化。
浇铸成型：熔体在真空或氩气保护下，浇入预热的石墨模具中。控制冷却速率 10~50℃/s快速凝固，抑制粗大柱状晶与成分偏析，获得均匀细晶铸锭。
热加工致密化：铸锭在 1100-1200℃保温数小时，消除铸造应力与微观偏析。
1100~1200℃下进行多道次锻造与热轧，总变形量≥80%，破碎铸造组织、细化晶粒、提升致密度。冷轧/温轧，进一步减薄至靶材厚度，控制晶粒尺寸与平整度。
机加工：经线切割、车削、磨削等，加工至设计尺寸，表面粗糙度 Ra≤1.6μm。
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