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关于镍钴铬铝合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

镍钴铬铝合金靶材

镍钴铬铝合金靶材是一种高性能功能材料,结合了镍、钴、铬、铝四种元素的优异特性,在高温防护、耐磨耐腐蚀及精密镀膜等领域具有重要应用。


镍钴铬铝合金靶材主要特征

卓越的高温抗氧化性:依靠Al和Cr形成连续、自愈合的Al?O?或Cr?O?保护膜,有效阻止氧向内扩散和金属元素向外扩散。
出色的耐热腐蚀性:能有效抵抗在高温含硫、钠等恶劣环境(如海洋环境、劣质燃料燃烧)下产生的熔盐腐蚀。
良好的韧性和结合力:Ni-Co基体提供了优于陶瓷涂层的力学性能,涂层不易开裂剥落,与金属基体结合牢固。
可调节的热膨胀系数:通过调整Ni/Co比例,可以匹配不同基材(如镍基、钴基高温合金或钛合金)的热膨胀系数,减少热应力。
作为粘结层:这是其主要的用途之一。在热障涂层系统中,它沉积在高温合金基体与顶层的氧化锆陶瓷层之间,既提供抗氧化保护,又缓解金属与陶瓷之间的物理不匹配问题。


 

镍钴铬铝溅射靶材


镍钴铬铝合金金靶材制备方法

原料准备:选用纯度≥99.95% 的 Ni、Co、Cr、Al 原料,按目标成分(如 Ni - 20-30% Co- 10-20% Al - 5-15% Co,质量分数)精确配料,去除表面氧化层与杂质。
真空感应熔炼:将原料置于真空感应熔炼炉,抽真空至≤10?3Pa,高频感应加热使原料熔化,电磁搅拌确保成分均匀,温度达 1500-1600℃时保温精炼。
浇铸成型:将均匀合金熔体浇铸到预热石墨 / 金属模具,控制冷却速率以减少成分偏析与缩孔,获得合金铸锭。
塑性加工:铸锭经 1100-1200℃均质化退火后,进行热锻(变形量 50-70%)、热轧 / 冷轧(总变形率 70-90%),细化晶粒、提升致密度。
热处理:真空 / 氩气保护下,800-900℃保温 2-4h 退火,消除加工内应力,优化组织均匀性。
机加工与精整:经车削、磨削、平面研磨至靶材尺寸,表面粗糙度 Ra≤0.8μm,适配溅射设备。


镍钴铬铝合金靶材应用领域

航空发动机: 作为热障涂层的粘结层,喷涂在涡轮叶片、导向叶片等镍基高温合金基体上。
抗氧化涂层: 直接用作高温部件的终端防护涂层,提高其使用寿命。
汽车与赛车工业:高性能涡轮增压器涡轮壳和叶轮的耐热涂层。
半导体与工具领域(通过溅射工艺):利用磁控溅射技术,将靶材沉积在工具、模具表面,形成超薄、致密、结合力强的耐磨耐腐蚀涂层。


镍钴铬铝合金应用领域

航空发动机与燃气轮机:热障涂层系统的粘结层,用于涡轮叶片、导向叶片、燃烧室等热端部件,极大延长其服役寿命。
工业燃气轮机:同样用于承受高温的部件,提升效率和可靠性。
腐蚀性环境下的高温部件:如化工、能源领域的高温反应装置部件。
高新技术领域:有时也用于半导体或特殊功能薄膜研究,但用量远小于热喷涂领域。



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