鑫康专业定制制造的靶材公司

鑫康新材料有限公司是定制制造溅射靶材的专家。公司可以提供全系列的溅射靶材，包括从工业级到超高纯度的各种成分。也可以提供一些附加服务器，包括绑定，背板。公司始终坚持研发制造技术，以提供更多的价值和更好的产品。

溅射靶材的制造方法：
鑫康有很多制造方法，可用的方法如下所示：真空感应熔炼（VIM），真空感应悬浮熔炼炉真空烧结，真空熔铸，真空电弧熔炼，热压（HP），热等静压（HIP），冷等静压（CIP），冷压和烧结，FZ，CZ，CVD……现在我们的等离子喷涂技术正在研究和改进中，我们将提供一些样品。

背板和粘接服务： 背板包括OFHC铜，铝，钛，不锈钢或钼。尺寸将根据您的图纸进行设计。
粘接服务
背面金属化处理，大可达1600 x 1000mm
金属和非金属粘接覆盖率> 98％的
粘接完整性超声波c扫描

溅射靶的形状和大小：圆盘，矩形，台阶，板，片，管，箔，棒，锥度，环，S型枪，定制。
圆盘靶，柱靶，阶梯晶片靶（直径<350mm，厚度> 1mm）
矩形靶，切片靶，阶梯矩形靶（长度<1500mm，Witdh <300mm，厚度> 1mm）
管状靶/旋转溅射靶（外径< 300mm，厚度> 2mm）

溅射靶材列表（根据应用） ：

半导体相关靶材/电极和导线的薄膜布置： 铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，硅硅铝靶材，硅铝硅铜合金靶材等。

包膜电极薄膜： 钼靶材，钨靶材，钛靶材等；

凝集薄膜： 钨靶材，钛靶材等。

绝缘薄膜： PbTiZrO3靶材等。

具有磁性薄膜磁记录的硬盘： CoCrTa合金靶材，CoCrPt合金靶 材 ，CoCrTaPt合金靶材...

薄膜磁头： CoTaCr合金靶材，CoCrZr合金靶材...

天然晶体膜： CoPt合金靶材，CoPd合金靶材...

相变光盘记录膜： TeSe靶材，SbSe靶材，GeSbTe靶材，GeTe合金靶材...

磁盘磁光记录膜： TbDyCo合金靶材，TbDyFe靶材，Al2Oe靶材，MgO靶材，SiN靶材...

CD反射膜： 铝靶材，AlTi合金靶材，AlCr靶材，金靶材，金合金靶材...

CD保护膜： SiN靶材，SiO2靶材，ZnS靶材...

平面显示器用透明导电膜： ITO靶材，AZO靶材，二氧化硅靶材，钛靶材，铬靶材...

显示配线膜电极： 钼靶材，钨靶材，钛靶材，钽靶材，铬靶材，铝靶材，铝钛合金靶材，AlTa合金靶材，铝钕合金靶材，AlNd合金靶材...

显示薄膜电致发光： ZnS掺杂的Mn靶，ZnS掺杂的Tb靶，ZnS掺杂的Eu靶，Y2O3靶，Ta2O5靶，BaTiO3靶...

装饰膜： 钛靶，锆靶，铬靶，TiAl靶，SS靶...

低电阻膜： NiCr靶，NiCrSi合金靶，NiCrAl靶，NiCu合金靶...

超导薄膜： YBCO靶（YBaCuO靶），BiSrCaCuO靶...

工具镀膜： 氮化物靶，碳化物靶，硼化物靶，Cr靶，Ti靶，TiAl合金靶，Zr靶，石墨靶，铝99.99％，铬99.5％，镍/铬99.5％，镍和合金99.5％，钨碳化物C：0.4％，钛及合金（TiAL，TiALY）99.5％，锆99.5％

薄膜太阳能电池：硅溅射靶材，砷化镓（GaAs）99.999％，ITO 99.99％，钛金属99.9％，铝氧化锌（AZO）99.99％，氧化锌（ZnO）99.99％二氧化硅（SiO2）99.99％，氧化钛（TiO2）99.99％，钼99.9％，镍/铬（80:20）99.5％，NiV靶材，铬靶99.5〜99.9％，碲化镉（CdTe）99.999％，硫化镉（CdS）99.99％， 99.999％，铂（Pt）99.99％，GaSe靶材，GaS靶材，CuGa靶材，CuIn靶材，CuInGaSe（CIGS）99.99％，CuInSe（CIS）99.99％，ZnAl合金溅射靶，CIG溅射靶（5N）

溅射靶材料清单：

金属溅射靶材： 铝（Al），锑（Sb），铋（Bi），硼（B），镉（Cd），铈（Ce），铬（Cr），钴（Co），铜（Cu），s（Dy）， （Er），Euro（Eu），Ga（Gd），锗（Ge），金（Au），石墨，碳（C），Ha（Hf），Hol（Ho），铱（Ir），铟（ In），铁（Fe），镧（La），铅（Pb），L（Lu），锰（Mn），钼（Mo），镁（Mg），钕（Nd），铌（Nb），镍（ Ni），钯（Pd），铂（Pt），Pra（Pr），hen（Re），钌（Ru），Sa（Sm），Scan（Sc），硒（Se），硅（Si），银（ Ag），钽（Ta），b（Tb），碲（Te），锡（Sn），Th（Tm），钛（Ti），钨（W），钒（V），Y（Yb），钇（ Y），锆（Zr），锌（Zn）；
合金溅射靶材：AlCu，AlCr，AlMg，AlNd，AlSi，AlSiCu，AlAg，AlV，CaNiCrFe，CaNiCrFeMoMn，CeGd，CeSm，CrSi，CoCr，CoCrMo，CoFe，CoFeB，CoNi，CoNiCr，CoPt，CoNbZr，CoTaZr，CoZr，CrV，Cr CrSi，CrCu，CuCo，CuGa，CuIn，CuNi，CoNiPt，CuZr，DyFe，DyFeCo，FeB，FeC，FeMn，GdFe，GdFeCo，HfFe，IrMn，IrRe，InSn，MoNb，MoSi，NiAl，NiCr，NiCrSi，NdDyFeCo， NiFe，NiMn，NiNbTi，NiTi，NiV，SmCo，AgCu，AgSn，TaAl，TbDyFe，TbFe，TbFeCo，TbGdFeCo，TiAl，TiNi，TiCr，WRe，WTi，WCu，ZrAl，ZrCu，ZrFe，ZrNb，ZrNi，ZrTi， ZrY，ZnAl，ZnMg，其他定制合金靶材；

陶瓷溅射靶材：

硼化物陶瓷溅射靶材： Cr2B，CrB，CrB2，Cr5B3，FeB，HfB2，LaB6，Mo2B，Mo2B5，NbB，NbB2，TaB，TaB2，TiB2，W2B，WB，VB，VB2，ZrB2，其他掺杂的bo陶瓷靶材

碳化物陶瓷溅射靶材： B4C，Cr3C2，HfC，Mo2C，NbC，SiC，TaC，TiC，WC，W2C，VC，ZrC，其他掺杂的碳化物陶瓷靶材

氟化物陶瓷溅射靶材： AlF3，BaF3，CdF2，CaF2，CeF3，DyF3，ErF3，HfF4， KF，LaF3，PbF2，LiF，PrF3，MgF2，NdF3，ReF3，SmF3，NaF，冰晶石，Na3AlF6，SrF2，ThF4，YF3，YbF3，其他掺杂的氟化物陶瓷靶材

氮化物陶瓷溅射靶材： AlN，BN，GaN，Hf NbN，Si3N4，TaN，TiN，VN，ZrN，其他掺杂氮化物陶瓷靶材;

氧化物陶瓷溅射靶材： Al2O3，Sb2O3，ATO，BaTiO3，Bi2O3，CeO2，CuO，Cr2O3，Dy2O3，Er2O3，Eu2O3，Gd2O3，Ga2O3，GeO2，HfO2，Ho2O3，In2O3，ITO，Fe2O3，Fe3Ob，Fe3Ob，Fe3Ob，La3O4， Lu2O3，MgO，MoO3，Nd2O3，Pr6O11，Pr（TiO2）2，Pr2O3，Sm2O3，Sc2O3，SiO2，SiO，SrTiO3，SrZrO3，Ta2O5，Tb4O7，TeO2，ThO2，Tm2O3，Ti2TiO，Sn2O3，TiO2，TiO2， SnO，WO3，V2O5，YAG，Y3Al5O12，Yb2O3，Y2O3，ZnO，ZnO：Al，ZrO2（不稳定），ZrO2-5-15wt％CaO）和其他多元素氧化物靶材;

硒化陶瓷溅射靶材： Bi2Se3，CdSe，CuSe，Ga2Se3，In2Se3，PbSe，MoSe2，NbSe2，TaSe2，WSe2，ZnSe，其他掺杂的棕铝靶材；

硅化物陶瓷溅射靶材： Cr3Si，CrSi2，CoSi2，HfSi2，MoSi2，NbSi2，TaSi2，Ta5Si3，TiSi2，Ti5Si3，WSi2，V3Si，VSi2，ZrSi2，其他掺杂硅化物陶瓷靶材；

硫化物陶瓷溅射靶材： AgS，Ag2S，CuS，Cu2S，Sb2S3，As2S3，CdS，FeS，GaS，GeS，PbS，SnS，In2S3，MoS2，NbS1.75，TaS2，WS2，ZnS，其他掺杂的sulfide陶瓷靶材;

碲化物陶瓷溅射靶： Al2Te3，Bi2Te3，CdTe，CuTe，Ga2Te3，GeTe，PbTe，MoTe2，NbTe2，TaTe2，TmTe，WTe2，ZnTe，其他掺杂的碲化物陶瓷靶材；

定制溅射靶材： AZO，Cr-SiO，CIGS，ITO，IGZO，GaAs，Ga-P，GaSb，In-Sb，InAs，InP，InSn，LSMO，Na3AlF6，YBCO，LCMO，YSZ，GeSbTe等定制溅射靶材;