铝锆合金靶材特性
高熔点：锆的加入显著提升合金的耐高温性能。
优异机械性能：高强度、良好的耐磨性和抗腐蚀性。
导电/导热性：保留铝的优良导电性，同时增强热稳定性。
成膜质量高：形成的薄膜致密、均匀，附着力强。
铝锆合金靶材制备方法
原料准备：高纯铝粉（≥99.9%）和锆粉（≥99.5%），按目标合金比例（AlZr70/30at%）称重。
冷压成型：将混合粉末装入模具，在室温下用液压机预压（压力200-400 MPa），形成初步坯体。
热等静压：在高温（500-600℃）、高压（100-200 MPa）下烧结2-4小时，消除孔隙，提高密度。
热轧/热锻：将烧结坯体加热至铝锆合金的再结晶温度以上（通常400-500℃），进行多道次轧制或锻造，进一步致密化并细化晶粒。
退火：加工后在惰性气氛中退火（300-400℃，1-2小时），消除内应力。
机加工：用车床、铣床等将坯体加工至靶材所需尺寸。
铝锆合金靶材应用领域
电子工业：用于半导体、显示器的导电薄膜或阻挡层。
半导体工业：用于制备集成电路中的导电层或阻挡层。
光学涂层：制造高反射膜、抗腐蚀膜（如望远镜镜面、手机屏幕）。
耐磨涂层：工具、模具表面镀膜以延长寿命。
新能源：太阳能电池的电极或反射层。
航空航天：发动机部件的高温防护涂层。
铝锆合金应用
航空航天领域：铝锆合金在航空航天领域被用于制造发动机、涡轮叶片等高温高压部件。其高强度和良好的耐热性使其能够在极端条件下保持性能稳定，同时减轻结构重量，提高燃油效率。
汽车制造领域：铝锆合金被用于制造汽车发动机进气门、排气门等部件。其高强度和耐热性能够满足发动机高温运行的需求，同时有助于减轻汽车零部件的重量，提高燃油经济性和动力性能。
电子电气领域：铝锆合金绕组配电变压器线圈利用铝锆合金制作的导线绕制而成，与铜绕组配电变压器相比，在空负载损耗相同的基础上，直接材料成本大幅下降，同时提高了变压器的抗短路能力和动热稳定性。
医疗器械领域：铝锆合金被用于制造牙科修复材料等医疗器械。其良好的生物相容性和机械性能使其成为理想的医用材料。
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