关于铝钛合金靶材性能，制备方法及其应用介绍

将铝粉和钛粉按一定比例混合（原子比为50-70:30-50）。混合方式为机械混合、真空混料或惰性保护气体混合，混合时间为30min以上，得到铝钛粉混合粉末；

将铝钛混合粉末装入到金属包套中，通过震动和捶打包套外围使粉末装填密实。焊接好金属包套的端盖、抽气管，把金属包套放入加热炉中，连接抽气管至真空机组，进行升温抽气，抽气的温度为350-600℃，保持温度待真空度达到1.5×10-3pa后，把抽气管压扁封焊；

抽完气的金属包套装入热等静压设备进行热等静压烧结，热等静压的温度为600-880℃，压力为150mpa，保温保压5h，得到铝钛靶包套；

热等静压后的铝钛靶材经车削加工去除外包套后，可以加工成所需形状的铝钛靶材。

该发明制备的铝钛靶材溅射镀膜成膜效果好，膜层不易开裂脱落，膜基结合力强，符合刀具或装饰镀厂家的实际需求。

上图是铝钛合金靶材的材质单。

铝钛合金靶材应用

装饰镀膜：主要用于手机、手表、眼镜、卫生洁具、五金零件等产品的表面镀膜，不仅起到美化色彩的作用，同时也具有耐磨、耐蚀等功能。

低辐射镀膜玻璃：利用磁控溅射原理在玻璃上溅射多层薄膜，以达到节能、控光、装饰的作用。

工模具镀膜：用于工具、模具的表面强化，能显著提高工具、模具的使用寿命和被加工零件的质量。

太阳能电池镀膜：溅射镀膜工艺是被优先选用的制备方法，用于制造太阳能电池。

铝钛合金其他应用

航空航天领域：铝钛合金因其高温性能和高强度，广泛应用于航空航天领域，如发动机部件、燃气涡轮、火箭喷嘴等。

车辆制造：铝钛合金在汽车、火车和船舶制造中也有广泛应用，用于制造轻质、高强度的部件，以提高交通工具的燃油效率和安全性。

化工设备：铝钛合金具有良好的耐腐蚀性，适用于制造化工设备，如反应器、储罐、管道等。

能源领域：铝钛合金在发电设备、核能设备及太阳能设备等领域也有广泛应用，如制造涡轮叶片、热交换器等。

医疗器械：铝钛合金具有生物相容性，适用于制造医疗器械，如人工关节、手术刀等。

电子领域：铝钛合金靶材广泛应用于电子工业，如制造集成电路、光电子器件等。

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