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一种锂靶材应用及制备方法


锂靶材


锂靶材的主要成分是金属锂,具有低熔点、高活性、高电导率等特点,是一种重要的半导体材料。在PVD过程中,锂靶材被激发并产生高能离子,这些离子在真空室中与气体分子发生碰撞,从而将锂原子沉积到基材表面形成薄膜。锂靶材在微电子、光伏、航空航天等领域有广泛应用。


锂靶材特征

锂靶材形状:平面靶、异型定制

靶材纯度:3N5

靶材尺寸按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供金属锂颗粒、锂圆片、锂带等。


锂靶材制备工艺

首先准备锂靶材制作用金属背板,对金属背板进行预处理;

使用相应夹具将预处理金属背板安装在3D打印设备的打印平台上,使用3D打印技术,在真空环境或惰性气体保护环境下,以直径2-10mm的锂丝为原料,锂丝为纯度≥99.95%的金属锂;

采用电弧熔丝的方式在金属背板上打印出所需厚度和形状的锂层,得到锂靶材,打印完成后,进一步对靶材进行滚压,滚压压力为1MPa-50MPa,滚压时的同时进行加热,加热温度150-200℃,终得到所需的平面锂靶材;

所述金属背板表面设计有凹槽,3D打印时,锂材先填充在所述凹槽内,待金属背板表面平整后,继续在其表面进行打印,所述凹槽为倒“T”形凹槽,且凹槽内设有排气槽。


锂靶材成分分析表

上图是锂靶材的材质分析报告。


锂靶材应用

微电子领域:锂靶材常用于薄膜晶体管(TFT)、液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)等微电子器件的制造过程中。通过物理气相沉积(PVD)技术,锂靶材可以在基材上沉积一层锂薄膜,这层薄膜可以作为半导体材料使用,也可以作为电极材料使用。

光伏领域:锂靶材在光伏产业中的应用主要集中在太阳能电池的制造过程中。通过使用锂靶材,可以在硅片上沉积一层锂薄膜,从而提高太阳能电池的光电转换效率和稳定性。此外,锂靶材还可以用于制造钙钛矿太阳能电池,这种新型太阳能电池具有更高的光电转换效率和更低的成本。


金属锂其他应用

电池:金属锂是制造锂离子电池的重要原料,锂离子电池是现代电子设备中广泛使用的可充电电池类型。

航空航天:金属锂被用于制造火箭和卫星的燃料电池,因为它具有高能量密度和低重量。

玻璃和陶瓷:金属锂可以用于制造特种玻璃和陶瓷,因为它可以降低玻璃和陶瓷的熔点。

医药:金属锂被用于治疗双相情感障碍等精神疾病。

润滑剂:金属锂可以用于制造润滑剂,因为它具有良好的润滑性能。


锂靶材系列产品

除锂靶材外,我们还可以提供铌酸锂、钛酸锂、磷酸锂、钴酸锂、硅铝锂氧等溅射靶材。


感谢您阅读关于锂靶材制备方法以及应用领域介绍,希望大家能对锂靶材有更好的了解。如果您想了解更多关于金属科研材料的信息,请收藏我们的网站鑫康新材料靶材生产厂家https://www.xk-sputteringtarget.cn/


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