一种高熵合金溅射靶材的两种制备方法

目前，高熵合金溅射靶材的制备方法有两种：主要是特种熔炼和粉末冶金。

特殊冶炼方法

将一定比例的合金原料冶炼，然后将合金液体送入模具中，形成铸锭，然后通过机械加工成靶材，在真空下铸造。常用的冶炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。优点是杂质含量低，密度高，体积大;缺点是：两个或两个以上的靶材熔点和密度差较大，难以获得成分均匀的合金靶材。

粉末冶金法

按一定比例的合金原料冶炼，浇注到锭中破碎后，等静压形成，然后高温烧结，后形成靶材，优点是靶材成分均匀，缺点是密度低，杂质含量高，常用的粉末冶金方法有冷压， 真空热压、热压等静压粉末冶金。

高熵合金靶材的制造工艺

采用金属冶炼、金属冶金、非金属粉末法，采用真空熔炼、常热压、冷压烧结，锻造、热轧后，消除型材应力，均匀或均匀烧结，或通过高温烧结提高其密封性，再经车、铣削、研磨、研磨，然后清洗、干燥， 后制作成品。有时，厌氧铜背板可以在某些靶材被表面金属化后根据需要固定。后，超声波或X射线检查，包装和工厂检查通过。

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