磁控溅射时靶材表面变黑我们可以想到的
通常靶材变黑引起中毒的因素
靶材中毒主要受反应气体和溅射气体比例的影响。在反应溅射过程中，靶材表面的溅射通道区域被反应产物覆盖或反应产物被剥离，金属表面重新暴露。如果化合物的形成速率大于化合物被剥离的速率，则化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下，参与化合物生成的反应气体量增加，化合物生成速率增加。如果反应气体量增加过多，复合覆盖面积增加，如果反应气体流量不能及时调整，复合覆盖面积增加的速度不会受到抑制，溅射通道将被化合物进一步覆盖。当溅射靶材完全被化合物覆盖时，靶材将完全中毒。
靶材中毒变黑的影响
a、正离子积聚：当靶材中毒时，在靶材表面形成绝缘膜。当正离子到达阴极靶表面时，由于绝缘层的阻挡，它们不能直接进入阴极靶表面。相反，它们沉积在靶材表面，很可能产生电弧放电——在冷场中产生电弧，使阴极溅射无法进行。
b、阳极消失：当靶材中毒时，地面真空室壁上沉积绝缘膜，到达阳极的电子不能进入阳极，形成阳极消失现象。
以上就是磁控溅射靶材表面变黑引起中毒的浅谈，对于靶中毒的解决办法清访问此链接https://www.xk-sputteringtarget.cn/cn/news_55.html，欢迎来访鑫康新材料，希望以上的内容对您有所帮助。
[免责声明]本站文章部分为原创，其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理，不属于商业用途，仅用于读者信息分享，供读者学习参考，不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责，且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权，因整理资料所需，文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的，如有版权的则其所属的知识产权归属原作者，本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者，若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题，请联系我方（联系电话：0731-86393472）及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考，力求数据严谨准确，但因受时间及人力限制，文章内容难免有所纰漏，如有重大失误失实，敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有，转载请联系本站，本站拥有对此声明的终解释权。
厂房地址：湖南省浏阳市高新技术开发区永泰路创新创业园A4-1栋
邮箱地址：erin@xk-sputteringtarget.com
全国咨询热线：
0731-86393472
Copyright © 2014 www.xk-sputteringtarget.com 长沙鑫康新材料有限公司版权所有 备案号： 湘ICP备17005295号-2
