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关于氧化铜靶材性能,制备方法及其应用介绍

氧化铜靶材是一种用于溅射镀膜工艺的靶材,通常由氧化铜粉末经过高温烧结而成。它在半导体、集成电路、平板显示、太阳能电池等领域都有广泛的应用。


氧化铜靶材


氧化铜靶材特征

氧化铜靶材形状:平面靶、异型定制

氧化铜靶材纯度:3N4N

氧化铜靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供氧化铜颗粒、氧化铜粉末


氧化铜靶材图片


氧化铜靶材制备工艺

将氧化铜粉末在120-150℃真空去气后装入石墨模具中;

将氧化铜粉末放入干净的氧化铝坩埚中,然后放入真空炉中抽真空至小于10Pa,以2-10℃/min的速率升温至120~150℃,保温1~5h,然后随炉冷却至室温;

将冷却至室温的氧化铜粉末冷压至5-10MPa,然后在真空条件下升温至780-820℃保温处理,再加压至30-50MPa保温保压处理,保温保压时间结束后,随炉冷却至室温,脱模,得到氧化铜靶坯;

对所得氧化铜靶坯进行铣面处理,得到溅射用氧化铜靶材。


氧化铜靶材化学成分表

上图是氧化铜靶材的化学成分分析表


氧化铜靶材应用

电子工业:氧化铜薄膜广泛应用于电子工业中的导电涂层、电磁屏蔽和热管理。由于其良好的电导率和热导率,氧化铜靶材在电路板、电子元件封装等领域有着重要应用。

光伏产业:氧化铜在太阳能电池制造中也有应用,特别是在CIGS(铜铟镓硒)类太阳能电池中,氧化铜是重要的原材料之一,用于形成光吸收层。

生物医学:在生物医学领域,氧化铜靶材可以用于制备抗菌涂层,这在医疗设备和植入体中非常重要。此外,氧化铜还具有催化过氧化氢产生氧气的作用,因此在生物化学实验中也有应用。


氧化铜其他应用

催化剂:氧化铜因其高电化学活性,常被用作催化剂。它可以催化一氧化碳(CO)的氧化反应,在汽车尾气处理中很重要。此外,CuO也被用于醇类化合物的氧化和加氢反应。

太阳能电池:在CIGS(铜铟镓硒)类太阳能电池中,氧化铜是重要的原材料之一,用于形成光吸收层,从而将太阳能转换为电能。

磁性材料:氧化铜具有铁磁性,可用于制备磁性薄膜和纳米颗粒,在数据存储和磁性传感器等领域有潜在应用。

电容器:氧化铜的高电导率使其成为制备电容器的良好材料,尤其在需要高频下的良好电导性的场合。

玻璃和陶瓷:氧化铜在玻璃和陶瓷工业中用作颜料和釉料成分,它能提供深蓝色或绿色的色彩,广泛用于瓷器和玻璃装饰。

生物医学:氧化铜具有抗菌特性,因此在生物医学领域中,它可用于制备抗菌涂层或者作为药物载体。

光学材料:氧化铜薄膜可以阻挡红外线辐射,因此在光学涂层中用于制备红外反射涂层。


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