靶材背板,靶材背板选择有什么要求_鑫康新材料公司

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靶材绑定及背板加工

产品优势

我们可以根据不同的机台要求加工不同规格的靶材背板，材质包括铜、钛、钼、铝等，同时也可以提供靶材与背板的绑定服务。

用途

我司生产各种规格尺寸的背板以用于靶材与背板的绑定结合，绑定的材料包括铟、银锡、导电胶等。

产品列表

靶材背板的作用:
在溅射过程中可支撑脆性靶材，如陶瓷靶和软金属材料；在溅射过程中起到热传递的作用。

背板材料的选择有什么要求：
背板材料和靶材的热传递性；导电性；抗冷却水压的机械性能及热循环效果；重复利用性。

我司可提供以下靶材背板材料:
无氧铜靶材背板 - 无氧铜背板为使用最广发的背板，其具有良好的导热性和导电性，且易于加工。正常情况下铜背板可重复利用20次以上。

钼靶材背板 - 钼背板适用于高温绑定，然而铜背板在高温下较易氧化或者变形。当铜背板与靶材的热膨胀系数不匹配时，钼背板可与一些热膨胀系数小的靶材匹配。

铝靶材背板 - 铝背板具有同样的导热性，并可与靶材的热膨胀系数匹配，且适用于扩散焊绑定。

不锈钢靶材背板 - 不锈钢背板通常适用于旋转靶的背管，成本较低且可回收利用。

此外，我司也可生产铜锌合金背板和铜铬合金背板，若有任何需求，欢迎前来咨询。

我们的产品
高纯金属靶材

      钒（V）靶材

      铁（Fe）靶材

      钴（Co）靶材

      钼（Mo）靶材

      铌（Nb）靶材

      钽（Ta）靶材

      钨（W）靶材

      镍（Ni）靶材

      钛（Ti）靶材

      铝（Al）靶材

      铬（Cr）靶材

      铜（Cu）靶材

      锌（Zn）靶材

      锡（Sn）靶材

      铟（In）靶材

      铪（Hf）靶材

      锆（Zr）靶材

      锗（Ge）靶材

      硅（Si）靶材

      钙(ca)靶材

      锰（Mn）靶材

      铅(Pb)靶材

      铼(Re)靶材

      镁（Mg）靶材

      铋(Bi)靶材
贵金属靶材

      银（Ag）靶材

      金（Au）靶材

      铂（ Pt）靶材

      铑（Rh）靶材

      钌（Ru）靶材

      铱（Ir）靶材

      钯（Pd）靶材
稀土金属靶材

      镧（La）靶材

      钇（Y）靶材

      铈（Ce）靶材

      镨（Pr）靶材

      钕（Nd）靶材

      钐（Sm）靶材

      铕（Eu）靶材

      钆（Gd）靶材

      铽（Tb）靶材

      镝（Dy）靶材

      钬（Ho）靶材

      铒（Er）靶材

      铥（Tm）靶材

      镱（Yb）靶材

      镥（Lu）靶材

      钪（Sc）靶材

      锂（Li）靶材
镍合金靶材

      镍钒（NiV）合金靶材

      镍铁（NiFe）合金靶材

      镍铬（NiCr）合金靶材

      镍钛（NiTi）靶材

      镍钨（NiW）合金靶材

      镍钴（NiCo ）合金靶材

      镍铝（NiAl）合金靶材

      镍铂（NiPt）合金靶材

      镍铜（NiCu）合金靶材

      镍铬硅（NiCrSi）合金靶材

      镍铜钛（NiCuTi）合金靶材

      镍铜锰（NiCuMn）合金靶材

      镍铬铁（NiCrFe）合金靶材

      镍钴铁钛( NiCoFeTi)靶
铁合金靶材

      铁钴（FeCo）合金靶材

      铁钴钽锆(Fe+Co+Ta+Zr)合金靶材

      铁锰（FeMn）合金靶材

      铁硅（FeSi）合金靶材

      铁铬（FeCr）合金靶材

      铁铪（FeHf）合金靶材

      铁镍（FeNi）合金靶材
钴合金靶材

      钴钽锆(CoTaZr)合金靶材

      钴铬（CoCr）合金靶材

      钴铬钨（CoCrW）合金靶材

      钴铬钼（CoCrMo）合金靶材

      钴镍铬钼（CoNiCrMo）合金靶材
铜合金靶材

      铜镓（CuGa）合金靶材

      铜铟（CuIn）合金靶材

      铜铟镓(CuInGa)合金靶材

      铜镍（CuNi）合金靶材

      铜镍钛（CuNiTi）合金靶材
铝合金靶材

      铝钛（AlTi）合金靶材

      铝铜（AlCu）合金靶材

      铝锡铜（AlSnCu）合金靶材

      铝铬（AlCr）合金靶材

      铝铌合金靶材
难熔合金靶材

      钨钛（WTi）合金靶材

      钼铜（MoCu）合金靶材

      钼铌（MoNb）合金靶材

      钼钽（MoTa）合金靶材

      钼锆钛（MoZrTi）合金靶材

      钼镧（MoLa）合金靶材
陶瓷靶材
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其他材料
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