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高熵合金靶材的制造方法

目前高熵合金靶材的制备方法主要有两种:主要是特熔法和粉末冶金法。



高熵合金靶材


特殊冶炼方法
将一定比例的合金原料熔炼,然后将合金液注入模具,形成铸锭,再通过机械加工成靶材,真空铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。优点是杂质含量低、密度高、尺寸大;缺点是:两种或两种以上靶材的熔点和密度差异较大,难以获得成分均匀的合金靶材。

粉末冶金法
按一定比例的合金原料熔炼,破碎后倒入铸锭,等静压成型,然后高温烧结,终形成靶材,优点是靶材成分均匀,缺点是是密度低、杂质含量高,常用的粉末冶金方法有冷压、真空热压、热压、静压等粉末冶金。

高熵合金靶材的制造工艺
采用金属冶炼、金属冶金、非金属粉末法,采用真空熔炼、普通热压、冷压烧结,锻造后,热轧,消除型面应力,均匀或均匀烧结,或通过高温烧结提高其密封性,然后进行车、铣、磨、磨,再进行清洗、烘干,后制成成品。有时,在某些目标被表面金属化后,可以根据需要固定厌氧铜背板。终通过超声波或X光检测、包装、出厂检测。

我们的高熵合金靶材
铝铪钼铌钛高熵合金(AlHfMoNbTi)、铁钴铬镍钛钼高熵合金(FeCoCrNiTiMo)、钴铬铁镍铝高熵合金(CoCrFeNiAl)、钛铌钼钛钨高熵合金(TiNbMoTiW)、铬锰铁钴镍高熵合金(CrMnFeCoNi)、镁锡锌锶铋高熵合金(MgSnZnSrBi)、铝硅合金(AlSi)5N-6N铝基合金、锌钒钼铪铌高熵合金(ZrVMoHfNb)、铝镍合金(NiAl)5N-6N铝基合金、铜铝钛钨钒高熵合金(CuAlTiWV)、铝铜合金(AlCu)6N铝基合金、镍铬铁锰钼高熵合金(NiCrFeMnMo)、钽铪锌钛高熵合金(TaHfZrTi)、钨钼钽铌钛高熵合金(WMoTaNbTi)。


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