铝镁合金靶材是由高纯铝(Al)和镁(Mg)按照一定比例组成的合金靶材,通过真空熔炼工艺制备,广泛应用于光学镀膜、半导体、显示技术和功能涂层等领域。
铝镁合金靶材参数
纯度:3N
尺寸:5X5X15mm,D75.95x2mm 按规格定制
铝镁合金靶材优点
轻量化:铝镁合金密度低,适合需要减重的应用场景。
高比强度:强度与重量比优于纯铝或纯镁。
耐腐蚀性:镁的加入可提升铝的抗氧化和耐腐蚀性能。
良好导电/导热性:适合电子器件中的导电或散热涂层。
铝镁合金靶材制备工艺
真空熔炼浇铸:将高纯度的铝和锆原料按一定比例放入真空熔炼炉中,在高温下熔炼使其充分合金化,然后浇铸成型。但该方法在浇铸过程中容易产生缩孔、疏松和宏观偏析等问题。
粉末冶金法:将铝粉和镁粉按照预定比例混合均匀,然后在高压下将混合粉末压制成所需形状的坯体,后在高温下进行烧结,使粉末颗粒之间发生扩散和结合,形成致密的铝镁合金靶材。
熔炼铸造法:把高纯铝和镁放入熔炉中,加热至一定温度使其熔化并充分混合,然后将熔融合金倒入模具中冷却凝固,得到铝镁合金铸锭,再经过后续的加工处理,如锻造、轧制、机械加工等,制成符合要求的靶材。
铝镁合金靶材主要应用领域
半导体工业:用于制备集成电路中的导电层或阻挡层。
光学镀膜:用于制备反射镜、滤光片等,镁的加入可调节膜层的折射率和稳定性。
半导体:作为电极或阻挡层材料,尤其适合对轻量化要求高的器件。
显示技术:用于OLED或LCD的电极镀膜,改善导电性和柔韧性。
防腐涂层:在航空航天或汽车部件表面形成耐腐蚀保护层。
新能源:锂离子电池集流体或固态电池界面层的制备。