铜铝合金（Cu-Al合金）靶材是一种广泛应用于薄膜制备领域的溅射靶材，通过调整铜和铝的比例（常见如Cu90Al10、Cu50Al50等），可满足不同应用场景对材料性能的需求。
铜铝靶材制备工艺
熔炼法：真空环境下熔炼铜铝，确保成分均匀，减少杂质（氧含量通常控制在<0.1%）。
粉末冶金：适用于高铝含量合金，通过压制烧结实现致密化（密度可达理论值的95%以上）。
铜铝合金靶材应用领域
电子薄膜：用于制备集成电路的导电层或阻挡层（如芯片中的铜互连技术）。
光学涂层：在太阳能电池或建筑玻璃中作为反射层，铝含量高时增强耐候性。
耐磨涂层：工具、轴承表面镀膜，提升寿命（如Cu??Al??靶材用于高硬度涂层）。
科研领域：研究合金薄膜的相变、磁性等特性。
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