一种靶材表面矿物油的清洗方法

靶材溅射镀膜过程中，靶材的清洁度对于溅射所形成的镀膜的质量、产品的合格率以及生产成本而言，非常重要。接下来我们讲下存储在矿物油中靶材的清理方法。

有些靶材非常容易氧化，为了保障靶材不与空气或水蒸气发生反应，通常在储存和运输过程中将它们浸入含矿物油的真空包装中。在将含有矿物油的靶材安装到真空系统之前，我们必须使用溶剂去除这些油。溶剂的选择需要它们不会对真空系统或后续薄膜工艺产生污染。

溶剂的选择
一些高反应性靶材可能与某些溶剂发生反应。因此，选择烃类的溶剂，考虑到费用，我们可以使用工业级溶剂，例如工业级己烷、庚烷、异辛烷。

以下是一些不推荐使用的溶剂
不要使用含氮类、含硫类、含氯类、含氧类溶剂和使用如醇、酮、酯、醚等。

环境要求
将靶材放在密封的手套箱中，并在氩气的轻微正压下进行清洗。或者，在通风橱或通风良好的地方尽快完成所有清洁步骤，减少靶材暴露在空气中的时间。

具体清洁步骤
首先，需要准备不少于三个培养皿，并确保可以填充的溶剂以完全浸没靶材。其次，从包装中取出靶材，并用无绒纸巾快速擦去多余的油。之后，立即将材料浸入装有工业溶剂的培养皿中，并搅拌以促进溶解。然后，从培养皿中取出材料，并用干净的纸巾快速擦去多余的溶剂。重复上述过程3次。后培养皿中取出时，立即将材料转移到真空室中，并用氩气进行预冲洗，腔室应始终用氩气排出。当靶材安装在其源中时，停止 Ar 流，关闭腔室法兰并泵送。如果靶材材料是快速氧化的反应溅射靶材，如Ca、Ba、Sr，请进行短时间预溅射。

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